微机械压阻式冲击加速度传感器的分析研究.pdfVIP

摘要 摘要 随着科技的发展，加速度传感器在工业应用中越来越得到广泛应用，比如设 备的振动检测。传统的传感器往往很难满足上述要求，而微电子和微机械加工紧 密结合的MEMS加速度传感器已经显示出了巨大的生命力。本论文主要针对微机 械压阻式冲击加速度传感器，进行了设计，工艺制作，封装和测试。 论文论述了固有频率和阻尼对传感器动态特性的影响，进一步介绍了微机械 传感器中常用的阻尼模型，这些为传感器的设计打下了良好的理论基础。针对己 开发的加速度传感器中存在的问题，设计了双质量块板结构加速度传感器，对该 结构进行了优化设计(灵敏度，频率和阻尼)，而且实验证明了同～版图可以用 于加工不同量程加速度传感器。 在传感器的制备中，两种不同量程的器件(1#传感器：满量程30009，2#传 感器，满量程1000009)都一次投片得到实验样品，表现出较好的工艺可控性。 论文对两种传感器分别进行了动态测试。得到1#传感器在5V供电的情况下， 灵敏度为48“y／g，谐振频率33kHz．2#传感器灵敏度为1．4p矿／g，谐振频率 220kHz另外，对I群传感器进行了静态测试和稳定性测试。并从封装应力和温度 系数两方面对传感器的稳定性现象进行了论述。论文从应力波角度解释了决定输 出脉宽的因素，从振动力学角度分析了不同安装条件对传感器响应的影响。从而 得到只有当传感器的固有频率足够高．并且安装频率远大子输入频率时，传感器 才能真实反映输入信号。 关键词：微电子机械系统，压阻式，冲击，封装，静态测试，动态测试 微机槭挑阻』℃冲击加速度传感器_『iJ『究 Abstract are andmore of and more Withthe science development technology，accclerometers inindnstrial suchasthevibration ofmachines．The applied applications monitoring and microelectronics accelerometersmadethe vitalMEMS by micromachinmg beenahot over onesandhave have theconventional advantages many teclmology and willaddresstwo research for choice paper piezoresistive application．This withdifferent which and accelerometers ranges，in also are included． testing ofnatural and On are