体声波滤波器的设计与微加工方法-压电与声光.pdf

第 卷第 期 压 电 与 声 光 年 月 文章编号 体声波滤波器的设计与微加工方法 高 杨 蔡 洵 贺学锋 中国工程物理研究院 电子工程研究所四川绵阳 西南科技大学 信息工程学院四川绵阳 重庆大学 新型微纳 器件与系统技术国防重点学科实验室重庆 核探测与核电子学国家重点实验室中国科学院高能物理研究所北京 摘 要提出了一种易于使用的薄膜体声波 滤波器的 步设计方法以一种 的 滤 波器为例展示了该方法的应用流程第一步根据 滤波器的中心频率和带宽指标确定 薄膜叠层中 各层薄膜的厚度第二步得到滤波器的电路结构第三步得到每个 单元的谐振区面积为此将串联 单元的谐振区面积并联 单元与串联 单元的谐振区面积比值作为两组优化参数将给定滤波 器的插入损耗和带外抑制指标作为优化目标利用 软件中的梯度优化算法得到其优化值第四步旨在使 滤波器的带内纹波最小化设计中采用一种新的 电极厚度调整方法故意使串联 的串联谐振频率与 并联 的并联谐振频率频率值不等但相差很小实现了该目标由于案例设计结果中 支撑层的厚度仅 需要在背面通孔刻蚀的微加工工艺中工序保留良好因此提出了一种基于绝缘衬底上的 圆片中 埋氧层 缓冲的两步通孔刻蚀工艺方案该方法利用了 的刻蚀自停止特性研究结果表明 滤波器 插入损耗为 在 频段的带外抑制为 带内纹波为 由此验证了该设计方法的可行性 关键词微机电系统 滤波器薄膜体声波谐振器 谐振区面积优化参数带内纹波 中图分类号 文献标识码