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压电微夹钳钳指位移与夹持力的自感知研究
第 卷第 期 压 电 与 声 光
36 1 Vol.36No.1
年 月
2014 02 PIEZOELECTRICS& ACOUSTOOPTICS Feb.2014
文章编号: ( )
10042474201401006204
- - -
压电微夹钳钳指位移与夹持力的自感知研究
, , ,
薛 飞 崔玉国 梁冬泰 邱 磊
( , )
宁波大学机械工程与力学学院 浙江宁波 315211
: , 。
摘 要 采用双晶片型压电执行器 对微夹钳进行了结构设计 根据压电陶瓷晶体变形的本质是极化及极化
, 。
与表面电荷的关系 提出了基于积分电荷的钳指位移与夹持力的自感知方法 基于JanG.Smits的压电悬臂梁静
, 。 , ,
态模型 建立了钳指位移与夹持力的自感知数学模型 实验结果表明 静态或低频情况下 自感知的钳指位移同传
; ( )
感器获得的钳指位移具有很好的一致性 自感知方法所获得的夹持力 最大值为 0.072N 大于微量电子天平的测
( ), ,
量结果 最大值为 0.052N 通过对自感知夹持力曲线进行相应的系数修正 自感知方法所获得的结果能很好地反
映夹持力的真实大小。
: ; ; ;
关键词 微夹钳 压电执行器 自感知 积分电荷
中图分类号: 文献标识码:
TN384 A
Selfsensin forDis lacementandForceofFin erofPiezoelectricMicro ri er
- g p g - g pp
, , ,
XUEFeiCUIYu uoLIANGDon tai IULei
g g Q
( , , , )
TheFacult ofMechanicalEn ineerin andMechanics Nin boUniversit Nin bo315211China
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