压电微夹钳钳指位移与夹持力的自感知研究.PDFVIP

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压电微夹钳钳指位移与夹持力的自感知研究

第 卷第 期 压 电 与 声 光 36 1 Vol.36No.1         年 月 2014 02 PIEZOELECTRICS& ACOUSTOOPTICS Feb.2014     文章编号: ( ) 10042474201401006204    - - - 压电微夹钳钳指位移与夹持力的自感知研究 , , , 薛 飞 崔玉国 梁冬泰 邱 磊     ( , ) 宁波大学机械工程与力学学院 浙江宁波 315211 : , 。 摘 要 采用双晶片型压电执行器 对微夹钳进行了结构设计 根据压电陶瓷晶体变形的本质是极化及极化      , 。 与表面电荷的关系 提出了基于积分电荷的钳指位移与夹持力的自感知方法 基于JanG.Smits的压电悬臂梁静   , 。 , , 态模型 建立了钳指位移与夹持力的自感知数学模型 实验结果表明 静态或低频情况下 自感知的钳指位移同传 ; ( ) 感器获得的钳指位移具有很好的一致性 自感知方法所获得的夹持力 最大值为 0.072N 大于微量电子天平的测 ( ), , 量结果 最大值为 0.052N 通过对自感知夹持力曲线进行相应的系数修正 自感知方法所获得的结果能很好地反 映夹持力的真实大小。 : ; ; ; 关键词 微夹钳 压电执行器 自感知 积分电荷 中图分类号: 文献标识码: TN384 A     Selfsensin forDis lacementandForceofFin erofPiezoelectricMicro ri er - g   p         g       - g pp   , , , XUEFeiCUIYu uoLIANGDon tai IULei     g   g Q   ( , , , ) TheFacult ofMechanicalEn ineerin andMechanics Nin boUniversit Nin bo315211China      

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