高玻璃化温度化学增幅光致抗蚀剂的制备-影像科学与光化学.pdf

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2018-11-17 发布于天津
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高玻璃化温度化学增幅光致抗蚀剂的制备-影像科学与光化学

16 3 V ol . 16, N o. 3 199 8 8 . , 199 8 PHO T O GR AP HIC SCI ENCE A N D PHO T O CHEM IST RY A ug 研究论文 * * * 王　慧　游凤祥　陈　明　李元昌　卢建平　洪啸吟 ( , 100084 黄志齐　　胡德甫 ( , 100022 本文合成了一种具有高玻璃化温度的苯乙烯和N -( 4-羟基苯基马来酰亚胺的共聚体, 并其应用于紫外负性水型化学增幅抗蚀剂中, 并初步确定了该光致抗蚀剂的光刻工艺操作条件, 得到了分辨率为1. 39 Lm 的光刻图形. 光致抗蚀剂, 光刻, 苯乙烯和N -( 4-羟基苯基马来酰亚胺共聚体 . [ 1] . ( , 70 120 , . , , 200 . , , ( , . -( 4 - N , ( HM M M . 1997 12 8 , 1998 2 12 . * ( : * * 245 16 24 6 1 1. 1 [ 2] , N -( 4- . 1. 1. 1N -( 4- 250 m L 10 g 50 mL , , 11 g , . 100 mL , 60 1 h , . 14 mL 95 mL 2 g , 75 4 h , , , , , , , 15 . 8 g , 69% . [ 2] 1 152154 , 153 , IR HN M R . 1. 1. 2- -( 4- N 2 4 . 3 -( 4- N g N 20 m L N , N -( DM F , 2 . 1 m L 0. 056 g ( A IBN 20 mL D MF , , 62 1. 5h , 70 6h , , , , , 6. 4 g . 1. 1. 3--