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衬底温度对j$7@+L$7$#薄膜结构和磁性的影响-光学仪器.PDF
第 卷 第 期 光 学 仪 器
年 月
文章编号
衬底温度对 薄膜结构和磁性的影响
付长凤高宇飞刘 超韩连福
东北石油大学 电子科学学院黑龙江 大庆
摘要采用磁控溅射法在 衬底上制备了 薄膜利用 射线衍射仪
射线光电子能谱分析仪 扫描电子显微镜 和综合物性测量系统
对所制备的样品进行了结构成分形貌和磁性能分析研究了衬底温度对薄膜的结构形貌和
磁性能的影响 分析表明 薄膜样品具有纤锌矿结构呈 轴择优取向生长
显示薄膜样品中的 离子是 价磁性测量表明 薄膜具有明显的室温铁
磁性且随着衬底温度的升高薄膜的铁磁性逐渐减弱
关键词衬底温度 薄膜磁性磁控溅射
中图分类号 文献标识码
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