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ABSTRACT
ABSTRACT
isan researchdirectioninthinfillfield.We
Heteroepitaxialgrowthimportant
shouldtheatomiclevelto the natureofthe
study recognizephy7sical heterogeneitaxial
thinfilm itisthe ofthe
growth,,whetherimprovingimprovementpreparationprocess,
andtotheenhancementofthe offillshave a rolein
or veryimportant
quality plays
this use simulationmethodtosimulate
guiding.Inpaper,wecomputer Au/Pt(001)
EAM
and the interaction
by potential
Pt/Au(001)heteroepitaxialgrowth,using
betweenatoms Au/Pt(001)andPt/Au(001)heteroepitaxial
and,respectively,for
the
has theeffectofthefilmsurface with
been roughness
growth simulated,analyzed
thefilmsurface film
differentsubstrate on mode,
temperature roughness,thegrowth
filmandsubstrateinterdiffusion altheinterfaceandthe
phenomena changing
ofrelative ofatomicfilmofthe inthe
relationshipdensity layer changesrelationship
thinfilmandPt/Authinfillin
andSOon.We thedifferencebetweenAu/Pt
analyze
theexternalconditions.
Inthis mainconclusionsare:
paper,the
1、Pt/Au thinfill mode、析mdifferent
epitaxial growth
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