低压气体流量标定技术研究 research on low pressure gas flow calibration technology.pdfVIP

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2017-11-02 发布于上海
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低压气体流量标定技术研究 research on low pressure gas flow calibration technology.pdf

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低压气体流量标定技术研究 research on low pressure gas flow calibration technology

and 2010年第29卷第8期传感器与微系统(Transducer Technologies) 63 Microsystem 低压气体流量标定技术研究徐波，钱力，黄刚 (中国航天员科研训练中心。北京100094) 摘要：热式质量流量传感器用于测量35-41kPa(绝压)的气体流量，需在该工况下对其进行标定。采用文丘里喷嘴作为标准器，在被测流量传感器处构建调压系统，调节压力可至40±O．1kPa(绝压)，建立低压气体流量标准装置，通过比较流量传感器输出值与文丘里喷嘴标准流量，标定流量传感器。对常压下校准的喷嘴在35-41kPa(绝压)条件下是否可以作为标准器进行了分析，试验证明：装置的稳定性为0．6％，重复性为0．13％，临界背压比为0．5，低压气体流量标定方法科学可行。关键词：航天器；计量学；流量传感器；标定；文丘里喷嘴 937 文献标识码：A 文章编号：1000．-9787(2010)08-0063-03 中图分类号：TP212；TB onlow flowcalibration Researchpressuregas technology XU Li，HUANG Bo，QIAN Gang AstronautResearchand (China TrainingCenter，Beijing100094，Chin,*) thermalmassflowsensorwhichiSusedtomeasureairflowundertheabsolute of35— Abstract：ne pressure be Venturinozzlesisusedasstandard of 41kPa。shouldcalibrated．ne instrument，the systemgaspressure is Can toabsolute of40±O．1 the oflow built be kPa，SO adjustingup，thegaspressure adjusted pressure system flow standarddeviceis flowsensoriscalibrated the valueof gas measuring founded，the bycomparingoutput canbeusedas sensortothestandardflowofVenturinozzles．WhetherthecriticalVenturinozzles calibrating of the of ornothavebeen andte