基于labview的半导体材料检测平台 testing platform for semiconductor materials based on labview.pdfVIP

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2017-11-02 发布于上海
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基于labview的半导体材料检测平台 testing platform for semiconductor materials based on labview.pdf

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基于labview的半导体材料检测平台 testing platform for semiconductor materials based on labview

　 2016年仪表技术与传感器 2016　　第 10期 Instrument　 Technique　 and　 Sensor No．10　基于LabVIEW 的半导体材料检测平台刘　恋,周凤星,严保康 (武汉科技大学信息科学与工程学院,湖北武汉　 430081) - 　　摘要:设计制作了一套以LabVIEW和USB 6009 采集卡为检测系统的半导体材料特性检测平台, 在温度自主可调的电加热炉的测试环境下,测量不同温度下半导体材料的电阻率和电动势率。测试平台已正式投入运行,在测试过程中实现温度、电压等各项数据的实时处理、显示及保存。根据实验结果可知,系统测量得到的电阻率和电动势率误差控制在允许误差范围以内,实验得到的曲线稳定。关键词:LabVIEW;半导体材料;电阻率;电动势率 - - - 中图分类号:TP274　　文献标识码:A　　文章编号:1002 1841(2016)10 0094 04 Testing Platform for Semiconductor Materials Based on LabVIEW LIU Lian,ZHOU Feng-xing,YAN Bao-kang (College of Information and Engineering,Wuhan University of Science and Technology,Wuhan430081,China) Abstract:A testing platform was designed to measure semiconductor materials’ resistivity rate and electric potential rate in - the variable temperature testing environment of electricfurnace,whichwasbasedon LabVIEW and USB 6009 acquisition card. The testing platform has already been put into running formally,temperature,voltage and other data were implemented conven- iently in real-time. According to the experimental results,the resistivity and electromotive error measured by the system are in permissible error range,and the curve gotten by the experiment is stable. Keywords:LabVIEW;semiconductor materials;resistivity rate;electric potential rate 0　引言测量不同温度条件下半导体材料的电阻率和电动势率,可以确定材料的掺杂浓度及载流子的类型, [1] 对其性能做出快速而精准的判断。采用 LabVIEW 2010 平台,设计了一套半导体材料电阻率和电动势率 - 的测试系统,所需测试数据经 USB 6009数据采集卡通过通信接口传给上位机程序进行处理、显示及