COMSOL MEMS模块介绍.pdf

COMSOL Multiphysics COMSOL Multiphysics 微系统模块 微系统模块 中仿科技专业信息化软件及技术咨询公司 www.CnT CnTech Co.,Ltd Leading Engineering Virtual Prototyping Solutions Provider info@ MEMS模块 COMSOL Multiphysics中的功能模块 一套用于模拟MEMS器件、微流系统和MEMS中出现的各种物理 现象 MEMS建模实例 与COMSOL其它产品无缝结合 – COMSOL Multiphysics和其它功能模块 – 材料库 – COMSOL Script (包括信号处理Signals and Systems Lab、 优化工具Optimization Lab ) – 反应工程实验室Reaction Engineering Lab – CAD导入模块 中仿科技专业信息化软件及技术咨询公司 www.CnT CnTech Co.,Ltd Leading Engineering Virtual Prototyping Solutions Provider info@ 什么是MEMS MEMS简称 – Micro: 微小尺度 – Electro: 电、磁现象 – Mechanical:移动或变形 – Systems: 一个整体 COMSOL Multiphysics中的MEMS – 微尺度器件和影响它行为的各种物理现象 – 结构力学 – 压电效应 – 静电场 – 微流体和电动效应以及化学反应 MEMS的自然属性决定了它内在本质就是多物理场 中仿科技专业信息化软件及技术咨询公司 www.CnT CnTech Co.,Ltd Leading Engineering Virtual Prototyping Solutions Provider info@ MEMS模块应用领域 传感器 执行器、共鸣器 压电压阻器件 微流传输问题 微流器件 中仿科技专业信息化软件及技术咨询公司 www.CnT CnTech Co.,Ltd Leading Engineering Virtual Prototyping Solutions Provider info@ MEMS模块应用领域 单物理场问题 … … 多物理场问题 结构力学 电-结构 电场 热-结构 集成SPICE 电-热-结构 压电效应 电-热 热效应 流体- 固体 层流 流体-热 传输现象