原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
薄膜谐振Lamb波传感器测量液体流速矢量的方法.pdf
第25卷第1期 光学精密工程 V01．25NO．1
andPrecision
2017年1月 Optics Engineering Jan．2017
文章编号1004—924X(2017)01—0155—07
薄膜谐振Lamb波传感器测量液体流速矢量的方法
孔 慧1’2，李传宇2，周连群驰，姚佳2，唐玉国2，郭 振2，张 威2
(1．上海大学机电工程-9自动化学院，上海200000；
2．中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，江苏苏州215163)
摘要：针对液体流速测量领域中微型流量传感器高品质因数、高灵敏度的性能要求。本文设计一种双端增强型薄膜谐振结
构实现Lamb波传感器的高品质因数，利用传感器反对称模式(氏，模式)在薄膜一液体界面处的消逝波实现液体流速矢量测
量。所制作的双端增强型薄膜谐振Lamb传感器＆，模式的主峰品质因数为703，Ao。模式的频率移动量与液体流速大小存
在线性关系，频率移动方向与液体流动方向存在对应关系。流速实测灵敏度约为270Hz／mm／s，传感器稳定性噪声小于
0．2Hz，流速最低检测极限值(LOD)为2．2扯m／s，流量最低检测极限值(LOD)为18．3nL／min。结果表明，双端增强型
薄膜谐振Lamb波传感器可以实现液体流速高灵敏度矢量测量。
关键词：薄膜谐振型Lamb波传感器；消逝波；反对称模式；流速矢量测量
中图分类号：TB853．29文献标识码：A doi：10．3788／OPE0155
Amethodforfluid vectormeasurement
velocity
film wave
thin Lamb resonator
using
KONG
Huil”，LI Jia2，
Chuan—yu2，ZHOULian—qun¨，YAO
ANGWei2
TANG Zhen2，ZH
Yu—gu02，GUO
(1．SchoolMechatronic and
Automation，ShanghaiUniversity，Shanghai2000，China；
of Engineering
InstituteBiomedical and
2．Suzhou of EngineeringTechnology，
Chinese Sciences，Suzhou215163，China)
Academyof
*CDrrPs乡o”矗i咒gauthor，E-mail：zhoulq@sibet．ac．cn
trendoffurtherresearchofthemicroflowsensoris factorand
Abstract：The higherquality sensitivity
inthefieldof this new ofdouble—endedenhancedfilm
measurement．Inletter，a
velocity type
resonancestructurewas t
文档评论（0）