无尘室洁净室管理.docVIP

本文由【中文word文档库】 搜集整理。中文word文档库免费提供海量教学资料、行业资料、范文模板、应用文书、考试学习和社会经济等word文档 目录 0. 目录 (Table of content) 1. 大纲(Introduction) 1.1 范围(Scope) 目的(Purpose) 2. 引用文件(Reference document) 3. 名词定义(Definition) 无尘室管理规范程序 无尘室洁净度等级区分及区域定义 面板前段工厂 面板后段工厂 模块工厂 无尘衣/鞋/帽穿著使用规定 无尘衣等级区分 无尘鞋等级区分 无尘帽等级区分 各区无尘衣穿著规定 无尘衣换洗规定 无尘衣之破损与缝补 无尘室进入资格之取得 一般员工 高阶主管 来宾(厂商) 无尘室进入资格取得之流程 无尘室进入资格之取消 无尘室资格考试 无尘室进出管制规定 人员之限制 物品之限制 进入无尘室之程序 人员进入无尘室之流程 物品进入无尘室之流程 仪器设备进入无尘室之流程 无尘衣穿著程序 连身式无尘衣穿著程序 披肩式无尘衣穿著程序 大衣式静电袍穿著程序 无尘衣穿著步骤 连身式无尘衣穿著步骤 披肩式无尘衣穿著步骤 大衣式静电袍穿著步骤 无尘衣穿著注意事项 无尘衣穿著检查要项 无尘室一般禁止及注意事项 黄光室特别注意事项 来宾(厂商)进入无尘室注意事项 无尘室安全注意事项 无尘室环境条件控制 使用表单(Form used) 变更记录(Change Record) 大纲(Introduction) 1.1范围(Scope) 凡进入无尘室内所有人、机器设备、物品、原物料、产品……等，均属本规范之管制范围。 1.2目的(Purpose) 为维持无尘室内洁净度，管制污染源控制环境参数，特对于无尘室内之人、机器设备、物品、原物料等加以管制，以便能确保无尘室内洁净度符合产品制程之需求，提高产品品质。 2. 参考文件(Referenced Document) 美国联邦标准209D(U.S. FEDERAL STANDARD 209D) MS-5103 无尘无菌室运转管理指针(GUIDANCE FOR OPERATION OF CLEAN ROOM) 3. 名词定义(Definition) 本规范除下列所述名词外，均依照JIS Z 8122(Contamination Control术语)。 无尘室 Particle被控制在规定值内之房间 粒子(Particle) 一般而言指0.001至1000μm之粒径的固体或液体之物质 4.无尘室管理规范程序 4.1无尘室洁净度等级区分及区域定义 4.1.1 面板前段工厂 A区(Class 100级)：包含黄光室及组合室。 B区(Class 1000级)：除A、C区以外之其它面板前段生产区。 C区(Class 10000级)：包含投片室。 4.1.2面板后段工厂 D区(Class 1000级)：面板后段无尘室(液晶注入室)。 E区(Class 1000级)：面板后段贴片区(Clean Booth内)。 F区(Class 10000级)：面板后段一般区。 4.1.3 模组工厂 G区(Class 1000级)：模组无尘室(COG室)。 H区(Class 1000级)：模组組裝区(Clean Booth内)。 I区(Class 10000级)：模组一般区。 4.2无尘衣/鞋/帽穿著使用规定 4.2.1 无尘衣等级区分 连身式无尘衣：Class 100级、白色、苹果绿色、蓝色、绿色、淡黄色(蓝色为工程员使用、绿色为施工及未认证人员使用、淡黄色为来宾使用) 。 披肩式无尘衣：Class 1000级、白色、蓝色、淡黄色(蓝色为工程员使用、淡黄色为来宾使用)。 大衣式静电袍：Class 10000级、白色、蓝色、淡黄色(蓝色为工程员使用、淡黄色为来宾使用)。 4.2.2无尘鞋等级区分 长统式无尘鞋：Class 100级、白色、苹果绿色、蓝色、绿色、黄色 (蓝色为工程员使用、绿色为施工及未认证人员使用、黄色为来宾使用) 开孔式静电鞋：Class 10000级、白色(来宾使用不织布鞋套)。 4.2.3无尘帽等级区分 连身式无尘帽：Class 100级、白色、苹果绿色、蓝色、绿色、黄色(与无尘衣连在一起)。 披肩式无尘帽：Class 1000级、白色、蓝色、黄色、粉红、浅红、深红(蓝色为工程员及技术员使用、黄色为来宾使用