真空粘滞态的流导计算及其适用条件.pdfVIP

年 第一 、 二期 深圳大学学报 理工版 与 、 、 , 真空粘滞态 的流导计算及其适用条件 储 继 国 摘 要 真 空设 备 中, 流 导 的计 算 方法 随 气体在 管道 中流 动 的模 式不 同而 不 同 , 气体 流 动 的模 式通 常 用 克努 曾数 , 人 , 判 定 真 空 管道 的流 导计算是 否 准确 , 选 叼是 否 合理将 直接 影 响真 空设备 的抽 气性 能 以 及真 空测 量 的准确 性 本文 讨论 了真 空 钻 滞 态 条件 下 管道 的流 导计算 式及 其适 用 条件 一 关键 词 真空 粘 滞 态 , 流 导 计算 流 导计 算 是真 空技 术 中 的一 个重 要 的基 本 间题 任何一种真 空设 备都 离不开连接 真 王 室 、 真 空泵 、 真 空规 和 其 它真 空部件的各种各样 的管道 。 这些管道 的流导计 算是 否准 , 确 选 用 是否合 理 , 将直接 影 响真空设 备 的抽气 性 能和真空测 量 结果 的准确性 流道选用 不 当, 有 时甚至会 使真 空设备无 法正 常工 作 此 外 , 在某 些 真 空 泵 例 如 分子泵 和 扩 散泵 中, 抽 气通道 的结构及 其 流导 的大 小 , 还 会直接 影 响泵 的抽气 性能