第9章真空泵.pdf

真空泵 真空泵 待抽空的容器(真空室)； • 待抽空的容器(真空室)； � 典型的真空系统 待待抽抽空空的的容容器器((真真空空室室))；； 获得真空的设备(真空泵)； • 获得真空的设备(真空泵)； 获获得得真真空空的的设设备备((真真空空泵泵))；； 测量真空的器具(真空规)； • 测量真空的器具(真空规)； 测测量量真真空空的的器器具具((真真空空规规))；； 附属设备包括必要的管道、阀门等 • 附属设备包括必要的管道、阀门等 � 极限真空 附附属属设设备备包包括括必必要要的的管管道道、、阀阀门门等等； 对于任何一个真空系统而言，都不可得到绝对 对于任何一个真空系统而言，都不可得到绝对 对对于于任任何何一一个个真真空空系系统统而而言言，，都都不不可可得得到到绝绝对对 真空(p=0)，而是具有一定的压力Pm，称为极 真空(p=0)，而是具有一定的压力Pm，称为极 真真空空((pp==00))，，而而是是具具有有一一定定的的压压力力PPmm，，称称为为极极 限压力或极限真空。 限压力或极限真空。 限限压压力力或或极极限限真真空空。。 � 抽气速率 指在规定压力下单位时间所抽出气体的体积； 指在规定压力下单位时间所抽出气体的体积； 指指在在规规定定压压力力下下单单位位时时间间所所抽抽出出气气体体的的体体积积；； 决定抽真空所需要的时间。 决定抽真空所需要的时间。 决决定定抽抽真真空空所所需需要要的的时时间间。。 � 真空系统所能达到的真空度 从理论上讲 Qi V dpi p= ∑p +∑ −∑ i µi i S