雷射校正方法.pdf

財團法人精密機械研究發展中心 雷射干涉儀原理與運用 告人 ： 沈建華 財團法人精密機械研究發展中心 財團法人精密機械研究發展中心 中華民國 九 十七年四月 十一日 1 一、 念介紹 財團法人精密機械研究發展中心 二、雷射量測 基礎概念 三、雷射 干涉儀介紹 四、雷射 干涉儀介紹量測 方法 五、案例補- 正方式介紹 2 一、觀念介紹 3 1.1 三軸向共三個定位誤差分量 xdx , ydy, zdz 三軸向共六個直度誤差分量 xdy , xdz , ydx , ydz , zdx , zdy 三軸向共九個角度誤差分量 Ax , Bx , Cx , Ay , By , Cy , Az , Bz , Cz 三軸向彼此間共三個垂直度誤差分量 XZ , XY , YZ u 總共二十一項誤差 總共二十一項誤差 Pitch Roll Vertical Straightness Yaw Horizontal Straightness Y-Z X-Z Linear Position 4 X-Y Squareness 1.2工具機的精密度與準確度 Ł精密度(Precision) ： Ł精密度(Precision) ： 測定值之變異程度變異 測定值之變異程度變異 愈小精 密度愈佳，所以精 愈小精 密度愈佳，所以精 密度也可稱之為重覆性 密度也可稱之為重覆性 （Repeatability ）。 （Repeatability ）。 Ł準確度 (Accuracy) ： Ł準確度 (Accuracy) ： 與真正數值之偏 差程度 與真正數值之偏 差程度 偏差愈 小準確度愈佳。 偏差愈 小準確度愈佳。 5 1.2工具機的精密度與準確度 Accuracy P