基于,)2方法的光学平面面形检测-光学仪器.PDFVIP

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2017-12-29 发布于天津
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第卷第期光学仪器年月文章编号基于方法的光学平面面形检测李晋惠王飞范博洋西安工业大学理学院陕西西安西安工业大学北方信息工程学院陕西西安西北工业大学自动化学院陕西西安摘要为分析光学平面面形偏差以直径光学平晶为检测对象利用斐索干涉仪采集了被测光学平面的波面干涉图按照美国材料与试验协会标准方法通过分析能够定性反映出被测光学平面的面形偏差计算并分析了波面偏差指标峰谷值和均方根值将计算结果与利用斐索干涉仪测得的数据对比偏差为符合光学检测要求综合考虑可操作性和计算精度这种基于的方法是一种行之有效的光学检测分析方法关键词斐索干涉仪干涉图平面面形检测方法中图分类号文献标志码