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实现长焦深的衍射光学元件设计方法-大连理工大学学报.PDF
第 卷第 期 大 连 理 工 大 学 学 报 ,
50 1 Vol.50 No.1
年 月
2010 1 JournalofDalianUniversitofTechnolo Jan.2010
y gy
文章编号: ( )
1000-8608201001-0152-05
实现长焦深的衍射光学元件设计方法
*
,
林 勇 胡 家升
( , )
大连理工大学 电子与信息工程学院 辽宁 大连 116024
摘要:提出了一种设计长焦深小焦斑衍射光学元件的方法 该方法采用 光学设计
. ZEMAX
, , ,
程序 利用能量守恒原理求解目标函数 并综合考虑焦斑大小保持不变的要求 对目标函数进
, ,
行了修正 通过修正后的函数来约束输出光束在焦深范围内的轴上位置 从而完成衍射光学元
, ,
件的相位优化 并求得相应的工艺参数 该元件不但可以使激光束具有长焦深和小焦斑 而且
.
, ,
还具有可加工性 焦深范围能达到 焦深范围内光斑半径在 变化 与相
. 2mm 5.32~10.48 m
μ
, , ,
同参数的传统光学元件相比 焦深增加了 倍 焦斑半径变化很小 而普通光学元件在此范围
8
、
内最大焦斑半径达到102.9 m.该方法为长焦深元件的设计 加工与制造提供了可行方案.
μ
: ; ;
关键词 光学设计 衍射光学元件 长焦深
中图分类号:TH74 文献标志码:A
,
引 言
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