高浊度晶背研磨废水回收再利用之潜势先期研究.docVIP

高濁度晶背研磨廢水回收再利用之潛勢先期研究 楊博名1、高志明2、賴文亮3、黃俊仁4、謝明昌5 摘要 由於台灣傳統水資源開發不易，因此水回收再利用將為水資源開發的趨勢而如何推動水回收再利用並創造穩定再生水源，已(back-side grinding, BG)，作為本研究測試之水樣，因BG廢水富有高濁度及細粒徑特性，細無機顆粒，濁度範圍介於1,325~3,220 NTU，pH值6.8~7.2，平均粒徑小於1.0 μm，導電度為14~18 μS/cm，因此若將其處理並回收再利用，應具有相當程度的經濟效益。經批次試驗結果顯示，當BG研磨廢水pH值為7.2時，以2.2 mg/L多元氯化鋁(poly aluminum chloride, PAC)為混凝劑，0.5 mg/L陽性高分子聚合物(polymer)，濁度之去除率可維持95%以上，且顆粒之平均粒徑提高至17.8 μm，pH值為6.2，TDS)濃度為158 mg/L，表示利用化學混凝可破壞膠體粒子之穩定性，並增加膠羽flocs)凝聚機會，達到快速沉降之效果。另接續以濾速0.6 mh-1傳統石英砂濾床過濾殘留懸浮性膠羽，去除水中懸浮固體物，可將廢水濁度降至13 NTU，濁度總去除率提高為98%，平均粒徑降為6.8 μm，TDS維持於154 mg/L，顯示藉化學混凝與砂濾處理後，BG研磨廢水可保有低濁度高粒徑之水質特性。薄膜分離測試，當使用孔徑為0.04 μm，壓力控制為0. kg/cm2之沈浸式中空纖維(ollow fibre, HF)超過濾膜(ltra filtration, UF)，濁度之總去除率達99%，清水通量(flux)可維持 L/m2h。另對照組採直接過濾BG研磨原水，濁度之去除效率亦可達99%以上，清水通量降低至 L/m2h，顯示BG研磨廢水藉由各物化處理程序可獲得較大之通量，可正面提升薄膜處理之效能，避免微細顆粒快速阻塞超過濾膜之表面孔隙。另關於UF濾液之水質，濁度值均小於1.0 NTU，平均粒徑大小為1.5 μm，殘留鋁劑量0.2 mg/L，逆滲透(RO)操作應無太大之影響，。關鍵詞：晶背研磨廢水、化學混凝、砂濾、超過濾、水回收再利用 一、前言 半導體BG研磨廢水，其含有晶圓研磨之細微粉狀顆粒，薄膜負荷，故本研究研擬以低成本高效率之前處理工法，高濁度及細粒徑之Rajca et al., 2009)。本研究為瞭解BG廢水之水質特性Zhang et al., 2003)，欲進行水質特性分析，可利用廢水顆粒之粒徑分布、化學最殘餘混凝劑，尋求前處理控制技術，減少再生水水源中關鍵污染物之含量，再生水處理效率之目標。屬晶圓製造的後段製程，與化學機械研磨hemical mechanical polishing, CMP)分屬不同，使用之研磨設備與研磨時所添加之研磨不盡相同，產生的研磨廢液性質亦將晶背研磨與化學機械研磨所產生的廢液進行比較，晶背磨廢水較CM廢水高外觀差距明顯。(concentration polarization)，減輕後續處理之負荷(Jung et al., 2006)。在批次試驗中本研究以元氯化鋁(poly aluminum chloride, PAC)為主凝劑，高分子聚合物為凝聚劑，尋求最適混凝/凝聚劑之添加量。 瓶杯試驗之程序，取6個自製PVC材質1000 mL方型攪拌杯，在快混 (200轉，1分鐘)/慢混 (30轉，20分鐘)/沈澱 (0 轉，30分鐘)相同條件下進行批次試驗。試驗進行過程，在快混程序添加主凝劑，另慢混程序前再加入凝聚劑，待慢混過程結束後，靜置使膠體顆粒沈澱，再取上層液進行水質分析(圖1)。 圖1 瓶杯試驗流程 在瓶杯試驗之前，除基本水質特性外，界達電位與粒徑必需同時進行。界達電位主要是評估水樣中帶電荷(electric charges)之顆粒是否趨近等電位點或電性中和，得以助於混凝成效的參考依據。而分析粒徑是用來觀察批次試驗中等條件之慢混程序，改變水中原有膠體顆粒之粒徑，在不同混凝之操作方式，可影響膠體顆粒之形成與其粒徑大小(Stoller, 2009)。 2.3 砂濾程序 砂濾過濾是一般污水處理常見的處理程序，本研究以石英砂為濾床之填充濾料，將混凝/膠凝及沈澱後懸浮性膠體固體物去除之。砂濾系統由進流水端至底部出水引接連通管柱過濾，底部流出之出流水經管線流至儲水槽(圖2)。 圖2 實驗室砂濾管柱示意圖 本研究之石英砂管柱之物理特性及其參數如下表所示： 表1 砂濾床基本操作參數 濾床基本架構 操作參數 濾床深度 180 mm 管柱高度 280 mm 濾速 0.6?mh-1 有效孔徑 0.4 – 0.8?mm 2.4 薄膜分離測試 本研究所選定之薄膜為一般所使用之沈浸中空絲膜，其最高操作抽取壓力為80 kPa，逆洗之壓力最大為160