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IC可靠性讲义
集成电路可靠性与
集成电路可靠性与
可靠性物理
可靠性物理
成电路可靠性和可靠性物理 目录
第一章 概述
第二章 可靠性概念及其主要数学特征 11
2.1 可靠性的定义 11
2.2 可靠度的定量表征 13
2.3 器件的失效规律 23
2.4 半导体器件常见的失效分布 26
第三章 集成电路的失效机理 36
伟峰 3.1 集成电路的表面失效机理 36
3.2 金属化系统 59
3.3 静电效应 98
复旦大学微电子学系 3.4 辐射效应对材料和器件的影响 153
3.5 湿度效应 212
3.5 湿度效应 212
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