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MEMS器件与系统_传感器
MEMS器件与系统介绍及应用
美泰电子科技有限公司
18专业部概况
总部新区1000亩
总投资6亿元
总建筑面积15000平米
高等级净化面积5000平米
MEMS和ASIC设计
MEMS芯片制造和封装
SMT 电路贴装线
MEMS传感器测试
器件可靠性和质量认证
18专业部概况
中国MEMS行业协会理事长单位
国际先进水平的6英寸MEMS工艺
世界领先的产品测试标定设备
国内最大的MEMS “863”MEMS加工和封装基地
高端核心芯片、器 国家高新技术企业
件和系统产品供应
ISO9001，ISO TS16949 认证
商，中国MEMS惯
性器件的领导者。
18专业部概况
20年研发和持续创新发展
20 Years RD and innovation
目 录
一．惯性器件与系统
二．测试测量传感器
三．遥测传感器
四．压力传感器
五．触发、过载开关
六．RF MEMS射频器件
三．MEMS惯性传感器
一． 惯性器件与系统
MEMS陀螺系列化产品
• LCC28陶瓷封装；
• 体积11.4 ×11.4 ×3.8mm;
• 重量1.5克； MEMS陀螺仪主要指标
• 具备温度输出和自检功能；
性能参数 单位 典型指标
MSG7100D单轴MEMS陀螺
量程 °/s ±50~ ±5000
短期零偏稳定性 °/h ≤10
标度因子非线性 %FS ≤0.05
• 金属水密封装； 分辨率 °/s 0.003
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