XPS 和 EELS 分析技术.pdf

现代材料测试方法与分析 张兴华 zhangxinghua@hebut.edu.cn Tel: QQ: 371932704 XPS和EELS分析技术 XPS (X-ray Photo)是X射线光电子能谱，它是用X 射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子 受激发出来，从而获得待测物组成。XPS 主要应用是 测定电子的结合能来实现表面元素的组成和价态分析。 EELS (Electron Energy Loss Spectroscopy) 是电子 能量损失谱。它利用入射电子束在试样中发生非弹性 散射，电子损失的能量直接反应了发生散射的机制、 试样的化学组成及厚度等信息，因而能够对薄试样微 区的元素组成、化学键及电子结构等进行分析。 XPS和EELS分析技术 • XPS简介 • XPS原理 • EELS简介 • EELS应用 • XPSPEAK简介 X射线光电子谱(XPS) X-ray Photoelectron Spectroscopy 引言 X射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不 仅能探测表面的化学组成，而且可以确定各元素的 化学状态，因此，在化学、材料科学及表面科学中 得以广泛地应用。 X 射线光电子能谱是瑞典Uppsala 大学K.Siegbahn 及 其同事经过近20年的潜心研究而建立的一种分析方 法。他们发现了内层电子结合能的位移现象，解决 了电子能量分析等技术问题，测定了元素周期表中 各元素轨道结合能，并成功地应用于许多实际的化 学体系。 光电效应 光电效应 Kinetic Energy Characteristic Photoelectron Core level electrons E are ejected by the X- V φ ray radiation E The K.E. of the F Valance band emitted electrons is dependent on: Binding hν − Incident energy Energy − Instrument work function Core − Element binding energy levels 光电效应 光电效应 根据Einstein的能量关系式有： hν= EB + EK 其中ν 为光子的频率，EB 是内层电子的轨道结合能 ，EK 是被入射光子所激发出的光电子的动能。实际 的X射线光电子能谱仪中的能量关系。即 E V hν−E −(φ −φ ) B K SP