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* * 深圳市华夏磁电子技术开发有限公司 磁电子学及其应用 2001年8月5日 今天与您分享什么？ 一、巨磁电阻（GMR）效应来源及磁电子学的提出 二、GMR技术的核心技术 三、GMR技术应用领域及GMR磁传感器的应用 四、库万军博士海外留学的主要成果 五、项目提出的背景 六、立项的动机及意义 七、项目的主要历程及进展 八、GMR传感器应用的市场前景 九、愿与您携手共创未来 十、致谢 GMR效应的发现及 磁电子学的确立 1988年，法国巴黎大学，在纳米结构的层间反铁磁偶合的Fe(2nm)/Cr(0.9nm)多层膜中，发现电阻随外磁场而发生巨大变化的现象，此现象定义为巨磁电阻（GMR）效应。其物理机制是与传导电子自旋有关散射。 1995年，基于GMR研究而发展成为一门新型的学科---磁电子学。超导材料(CMR)和绝缘材料(TMR)。 GMR效应的来源 层间偶合多层膜GMR效应特性曲线 自旋阀（spin-valve)多层膜GMR 效应特性曲线 优越的GMR磁性薄膜 先进的集成电路设计 合理的半导体集成工艺 GMR技术的核心 GMR技术的应用 A. 计算机领域(硬盘驱动器作为读出磁头) 1998年，IBM. 2000年, 磁头市场占有率95%, 10亿美元/季度 B. 磁随机存储器 2001年，摩托罗拉及IBM公司. 1000亿美元/每年的市场容量 C. 磁场传感器 1994年，NVE. 测量磁场电流位移及角速度。电子电力及自动化控制 D. 全金属计算机及逻辑元件 正在研制 GMR磁传感器应用领域 A. 电机（2000年，深圳3亿只），无刷电机 转子磁极位置，定子电枢电流转向器，转速检测，过载保护器 B. 电子电力技术 开关电源（1999年，DC-DC转换器，30亿美元） 电流传感器—检测，控制及保护。2010年，0.3V—120A 变频器过流保护器等 C. 能源管理 电度表，电网的自动检测 Ｄ. 磁信息读写 磁性编码器，读出磁头，验钞机及高级罗盘等 Ｅ. 汽车工业 ＡBS刹车系统，里程表，点火系统。高级轿车需60只 Ｆ. 工业自动控制，机器人，办公自动化，家电及安全 GMR硬盘驱动器磁头结构 ⊙ × Word line Insulator Sense line Insulator Sense Current × × 0 State 1 State R Word current R Word current * Non-volatility, Low time constants (less than 1ns) GMR磁随机存储器的原理 GMR RAM和半导体RAM的比较 10ns 10ns 写入时间 2F2/bit 25F2/bit 单元大小 永久 10年 非易失性 2ns 10ns 取数时间 2-3集成掩膜板 10-20集成掩膜板 结构及密度 GMR存储器 （MRAM） 半导体存储器（DRAM） 技术 美国国防部2000年报 R1 R1 R2 R2 V input V output V output = V input (R1-R2)/(R1+R2) 无外磁场 外磁场 R2 R1 +BIAS -BIAS R2 R1 GMR惠斯登电桥磁传感器原理 层间偶合多层膜GMR磁传感器 ? ? GMR传感器优越的性能价格比 国内外对GMR磁场传感器研究及应用 国外的研究及产业化 美国：IBM，HONEYWELL，NVE，Seagate，Read-write，Motorola 欧洲：PHILIPS，SIMENS，BOSCH 日本：日立制作所，TDK，松下，SONY，东芝等在进行研究 仅有NVE公司生产和销售。 国外的研究及产业化 国内的研究 九十年代初开始，中科院物理所，北京大学，南京大学，兰州大学，山东大学，电子科技大学，华中理工大学，上海交通大学等。国内仅仅局限于科学研究及材料制备，最近中科院物理所和中科半导体联合进行磁随机存储器（MRAM）的研究和开发。 GMR磁传感器在车辆监控方面应用 GMR磁传感器在航运方面应用 GMR位移传感器的原理 GMR位移传感器的具体应用 GMR二维位移磁传感器 20 300 40 价格 20 不大于100 5-----8 可到300 50----200 可调 GMR元件 霍尔元件 温度使用范围 （°C） 检测距离(mm) 磁接近开关性能价格的比较 GMR角度磁传感器 GMR角度磁传感器的输出特性 GMR磁传感器在验钞机方面应用 GMR生物传感器 GMR磁传感器在检测电流