128°YX-LiNbO3表面声波谐振器的有限元仿真.pdfVIP

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2017-10-11 发布于湖北
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第37卷第4期西安工业大学学报 V01．37No．4 1 20 ofXi’an 7年4月 Journal 17 TechnologicalUniversity Apr．20 DOI：10．16185／j．jxatu．edu．cn．2017．04．001 128。YX—LiNb03表面声波谐振器的有限元仿真’ 燕兴，刘卫国，周顺，孙雪平，石冰 (西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，西安710021) 摘要：为研究基于128。YX—LiNbO。的表面声波谐振器的结构参数对器件性能的影响，利用COMSOL有限元分析软件对谐振器结构进行多物理域耦合建模与仿真．通过特征频率分析表面声波谐振器结构的叉指敷金比、金属电极厚度、金属电极均匀性和压电基底厚度对特征频率的影响；通过频率响应分析，获得输入电导与频率之间的关系以及旋转角速率与特征频率之间的关系．结果表明：随着叉指换能器敷金比的逐渐增大，对称模态和反对称模态的特征频率迅速减一J、，压电基底的厚度在大于一个波长时对特征频率影响较小；加入旋转角速率，得到特征频率随旋转角速度的变化关系呈线性关系．关键词：叉指换能器；表面声波；谐振器；128。YX—LiNbO。中图号：TN702 文献标志码： A 文章编号： 12 FiniteElementSimulationof 8。YX—LiNb03 SurfaceAcousticWaveResonator rAN Shun，SUN Xing，己IUWeiguo，ZHOUXueping，SHIBing (ShaanxiProvinceLabofThinFilms and Test．Xi’an 710021，China) Key TechnologyOptical TechnologicalUniversity，Xi’an Inorderto theinfluenceofthestructural onthe ofthe Abstract： performance study parameters surfaceacousticwave finiteelement softwareofCOMSOLiSused 1280YX—LiNb03 resonator，the analysis tomodelandsimulatethemultidomain ofresonatorstructure．Theinfluenceoftheratioof coupling of metal ofthemetalelectrode ratio，thethicknessthe electrode，the interdigitaldeposition uniformity andthethicknessofthe substrateonthecharacteristicofthesurfaceacoustic piezoelectric frequency wav