激光扫描共焦显微镜在钢铁冶金行业中的应用.PDFVIP

激光扫描共焦显微镜 在钢铁冶金行业中的应用 宋 敏 华 OLYMPUS激光扫描共焦显微镜材料检测实验室 songminhua@,sh@ 摘要：本文主要介绍激光扫描共焦显微镜的功能、特点，简要介绍激光扫描共焦显微镜在 钢铁冶金行业中的应用。 关键词：激光扫描共焦显微镜，钢铁冶金行业，应用。 THE APPLICATION OF CONFOCAL LASER SCANNING MICROSCOPY Song Min-hua Testing ＆ Analysis Lab Of Material , OLYMPUS Confocal Laser Scanning Microscope songminhua@,sh@ Abstract : This paper introduces functions and characteristic of confocal laser scanning microscope, and also the brief introduction applications of confocal laser scanning microscope calling of ferrous metallurgy. Key words: Confocal laser scanning microscope; Calling of ferrous metallurgy; Application. 金相技术作为材料研究和检验手段，要追溯到索拜（Sorby ）1860 年开始运用 光学显微镜研究金属内部组织并于 1864 年在历史上最早发表金属显微组织的论文。 此后，光学显微镜逐渐成为研究和检验金属材料组织的有效手段。 目前，光学显微镜作为一种微观形态学工具，在工业测试方面的应用，我们比 较熟悉的主要有单独作为形态学工具，进行材料组织分析和外观缺陷检查，如金相 显微镜和立体显微镜；与光栅量测结合，进行部件的精密尺寸测量，如工具显微镜， 测量显微镜。 但光学显微镜的局限在于，它是一种二维的形态学工具，其极限有效分辨率是 0.35 μm ，而且分辨率下的景深在 1 μm 以下。因此如果要在高倍率下观察部件表面 的三维形态，特别是纵向方向的形态，通常需要使用电子显微镜（SEM）或激光扫 描共焦显微镜。 SEM 具有放大倍率高，焦深大的特点，是非常成熟有效的标准工具。 激光扫描共焦显微镜的发展在国外是从 80 年代末期开始的，目前在日本，已经 是一种被广泛采用的技术，具有更高的分辨率和放大倍率，既用来观察样品表面亚 微米程度（0.2 μmm ）的三维形态和形貌，又可以测量多种微小的尺寸，诸如体积、 面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等等。 激光扫描共焦显微镜既具备常规显微镜的功能，有多种观察方法 BF 、DF 、DIC ， 又能获得样品表面的三维真实形态（近似 SEM 扫描电镜的 Morphologic 图像）及具 有多种测量功能。并且使用方便,与一般光学显微镜相似，且全部采用计算机直观控 制；基本无须制样，不损伤样品，不需要做导电处理，也容许大尺寸样品直接观察， 完全不破坏样品；几十秒到一两分钟即完成全部的扫描，成像，测量采样工作。 因此，作为一种新的检测仪器，也是 SEM 的一种补充，激光扫描共焦显微镜 越来越受到重视。 激光扫描共焦显微镜已在 MEMS 、半导体/LCD 、精密机械部件，电子器件、摩 擦学、腐蚀等表面工程、材料科学、高精密 PCB 制造化学薄膜（高分子等）厚度测 量、膜表面粗糙度测量等领域广泛应用。 下面以日本 OLYMPUS 最新产品 LEXT OLS3000 型为例，主要介绍激光扫描共 焦显微镜在钢铁冶金行业中的应用。 激光扫描共焦显微镜用于低碳钢的组织分析及缺陷检查。如