石墨烯等二维原子晶体薄片样品的光学衬度计算及其层数表征-物理学报.PDFVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 11 (2013) 110702 石墨烯等二维原子晶体薄片样品的光学衬度 计算及其层数表征* 韩文鹏 史衍猛 李晓莉 罗师强 鲁妍 谭平恒† ( 中国科学院半导体研究所, 半导体超晶格国家重点实验室, 北京 100083 ) ( 2012 年12 月14 日收到; 2013 年1 月8 日收到修改稿) 本文以鉴别机械剥离法制备的高质量石墨烯样品的层数为例, 阐明了如何利用传输矩阵来计算二维原子晶体 薄片样品的光学衬度, 并进一步精确地鉴别其层数. 计算结果表明测试时所选用的显微物镜数值孔径对精确确定薄 片样品的层数非常重要, 并为实验所证实. 同时提出了使用两个激光波长可以快速地表征样品尺寸接近物镜衍射极 限的薄片样品层数的方法. 本文所采用的传输矩阵形式非常适合于计算二维原子晶体薄片样品的光学衬度, 并可以 方便地推广到更复杂的多层衬底结构, 以便快速和准确地鉴别各种衬底上二维原子晶体薄片样品的厚度. 关键词: 二维原子晶体材料, 层数, 传输矩阵, 光学衬度 PACS: 07.05.Tp, 42.25.Bs, 68.65.Pq, 78.30.j DOI: 10.7498/aps.62.110702 方法是利用原子力显微镜进行测量, 但是这种方法 1 引言 效率很低, 而且由于测量时针尖要与样品直接接触, 有时会对样品造成损坏. 除此以外, 鉴别二维原子 自从2004 年曼彻斯特大学的研究小组利用机 晶体材料层数的方法还有拉曼光谱610 和光学衬 械剥离法制备并观测到单原子层石墨烯(Graphene) 度 1112 . 人们利用所研究样品本身拉曼特征模式 1 后 , 氮化硼 (BN) 、二硫化钼(MoS ) 、硫化镓 2 的线型、峰位以及强度随着层数的变化关系可以 (GaS) 、硒化镓(GaSe) 、硒化铋(Bi Se ) 等单层二 2 3 确定样品的层数 610 . 此方法简单方便且应用广 维原子晶体也被制备出来. 这些单层二维原子晶 泛, 但是只能定性地获取样品的层数信息, 并受到 体材料与它们各自的体材料相比有很多独特的性 样品制备方法和二维原子晶体各原子层的堆积方 质, 正是由于这些独特的在光学、电学、力学和磁 式的影响, 通常只适用于较少层数的精确判断. 通 学方面的性质, 以及有可能成为下一代纳米电子器 件原材料的潜力25 , 使它们无一不受到全世界科 过比较实验测量和理论计算的光学衬度也可确定 二维原子晶体材料薄片样品的层数, 并且此方法基 研人员的巨大关注. 但是有研究意义和应用价值的 性质和现象不仅仅局限于单层材料, 双层或少数层 本适用于层数较多的各种二维原子晶体材料薄片 6 样品. 描述光在介质中传播的多重波法1114 和传 二维原子晶体材料也具有许多特殊性质 , 而且随 着层数的增加, 直到厚度接近于体材料, 它们之间 输矩阵法1516 都可以用来计算二维原子晶体材料 的性质都会发生明显的改变. 所以建立一种能够快 的光学衬度, 其中多重波法需要计算光波在每一层