CMOS光栅图像纳米细分技术研究2.pdfVIP

第 卷 第 期 光 学 仪 器 )5 ’ 1jq)50:j’ 年 月 )## -49r+=0r:.9hz,g:9. 2t6u0)## 文章编号!##$%$’#()##*#’%##$%#$ +,-.光栅图像纳米细分技术研究/ 徐 进 倪旭翔 曹向群 陆祖康 0 0 0 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心 浙江 杭州 ( 0 ’##)1* 摘要 光栅技术已在长度测量 角度测量 位置测量 自动检测 自动控制等诸多领域广 ! 2 2 2 2 泛应用 采用长光栅作为检测元件 但对光栅的