固体微纳米尺度传热理论研究进展.PDFVIP

第 24 卷 　第 4 期 物 　理 　学 　进 　展 Vol . 24 ,No . 4 　2004 年 12 月 PRO GR ESS IN PH YSICS Dec . ,2004 文章编号 (2004) 固体微/ 纳米尺度传热理论研究进展 吕　曜 ,宋青林 , 夏善红 ( 中国科学院电子学研究所 ,传感器技术国家重点实验室 ,北京 100080) 摘 　要 : 　随着半导体技术的飞速发展 ,器件的尺寸已进入到微/ 纳米尺度 。由于量子效 应 、表面及界面效应 ,使得微尺度下的热物性与宏观尺度下有了明显的区别 。人们针对微观 传热领域的特点 ,发展了声子玻尔兹曼传输方程 、分子动力学等方法 ,取得了一定的成果 ,但 仍存在不少问题 。一些基础概念问题 ,特别是非平衡态下的局域温度的定义 ,有待澄清 。本 文主要回顾近年来微/ 纳米尺度传热在理论和数值模拟方面的进展 , 以及 目前所面临的挑战 和问题 。 关键词 :微/ 纳米尺度 ;热导率 ;声子玻尔兹曼传输方程 ;分子动力学 中图分类号 : T K124 　　　　文 标识码 :A 献 0 　引言 ( ) 随着半导体技术和 M EM S Micro Elect ro Mechanical Systems 技术的飞速发展 ,器件 的尺寸已进入到微/ 纳米尺度 。集成电路以及其它微型器件集成度不断增大 ,特征尺度不 断减小 ,散热问题成为影响器件性能的关键因素之一 ,热传导分析对于设计和制作这些器 件结构至关重要 。由于量子效应 、表面及界面效应 ,使微尺度下与宏观尺度下的热传导存 在明显不同[ 1 ] 。微尺度下实验测量对测试系统要求很高 ,有些参数则根本无法直接测 量 。理论和数值模拟研究可以弥补实验的不足 ,并进一步指导新结构新实验的设计 。 这一领域的理论研究目前仍处于不成熟阶段 ,对传热的认识主要基于傅立叶定律 , Q κ κ = - T ,式中 Q 为热流 , 为热导率 , T 为温度梯度 ,这构成了声子玻尔兹曼传输方 程以及原子级模拟热导率的基础 。而很多材料中的主要热载流子声子在体材料中室温下 平均自由程通常在 1～100 nm ,与研究对象的尺度相当 ,而 目前还没有一种解析表达可以 较好描述纳米结构尺度下声子波的特征[2 ] 。 基于傅立叶定律 ,研究模拟微/ 纳米尺度传热 目前比较流行的方法有两种 。一种是分 收稿 日期 : ( ) 基金项 目: 国家 973 项 目资助 G1999033 102 作者 Email :gop her0 @sina . com 　4 期 吕　曜等 :固体微/ 纳米尺度传热理论研究进展 425 子动力学方法 ,它已经成为计算热导率和声子散射的有力工具 ,可以提供热传导的比较直 ( ) 观的物理图像 。另一种是对声子玻尔兹曼传输方程 B TE 方法进行数值求解 ,玻尔兹曼 传输方程也是大多数宏观固体传热理论的基础 。在 B TE 方法的理论框架下 ,无论是电 子 、声子传热 ,各种散射机制 ,都已有比较完善的表达方法 ,并已成功应用于解释均质体材 料中的电导对热导的影响、热电系数 、热导率 、同位素散射 、以及量子效应等[2 ] 。B TE 方 法在计算单晶硅薄膜以及温度在 10 K 以下的一些材料的热传导过程中取得了一定的成 功 ,而计算一些相对复杂结构时遇到了不少困难 。总而言之 ,在计算纳米尺度结构热传导 时 ,两种方法都还有缺陷 ,需要进一步改进发展 。 纳米