导航系统MEMS加速度计的设计.pdfVIP

维普资讯 《自动化技术与应用}2006年第25卷第5期 仪器仪表与检 测技术 lnst八JmentaliOnandMeasurement 导航系统 MEMS加速度计的设计 宋 颖 。鲍其莲 (上海交通大学 电子信息与电气工程学院，上海 200030) 摘 要：小艾介 _rJJ1【迎瞍f感器芯片ADXI250 没计 导航系统tI1WJ,hii述 汁力 的 一个心JlJ 史 I【I还介 』 Ⅱ迷度计I卡日 的 定吧路 定胁 的 验数 时比衷 IJ『J：川此』JI1造度传感器设计的JJl【逑瞍汁体 小、结构简 ，精度高．能很好地满足惯-r}： 洲 和导航系统lI17JI】迷嫂的iji! 关键词 ：MEMS：ADX1250；JJI1述 汁； 定 l}I 分炎I：TH824．4 义献f，．；,Ifi5：13 义眷编 ：1003—7241(2O06)05—0056—03 Design ofMEMSAccelerometerforNavigation Systems S0ING Ying，BAOQi—lian (InstofE|ectrmficE|eetricEngineering，ShanghaiJiaotongUniversity，Shnaghai200030，China) Abstract：Thispa1)et’introclutesthedesignotMEMSa(L、elernmcterbased )【l1thea(·【t·lerationstnsol’chipADXI250andthele‘latedraliln，atingcir(u·it Thelesultsof’P、lMtinlentssh)【 thatthina【c‘elerollletel’hasthed(1、atllag~、sofsmall、ohllne，siin1)lestltl(tu!Pall(]highpi’(i·sioi1and (df llleetthenot(Ix()ftheIII~(asuIelnentst)fa‘(e‘leratioI1intheinellialIlWaS1．1l’elnell[all(1㈨ 、igatioi1St,stelllS． Keywords：MEMS；ADXL250；ac(、eleron]etei’：calibration l 引言 ADXI250是一种单芯双轴表面微机械加速度传感器 ，它是将加 速度计与信号调理电路集成在一个芯片上的双轴、容性加速度 加速度计是惯性测量和导航系统 的主要惯性元件之一，它 测量系统。其特点为：用户可选择从 ±5g～±50g测量量程；输 的输出与运载体的运动加速度成比例，其作用原理是基于牛顿 出灵敏度也可从 38mV／g～400mV／g中选择 ；分辨率为 10mg；带宽 的经典力学定律。自二次世界大战中德国人成功在 v一2型火箭 为 lKHz；+5V单电源工作；不加 电时可 以承受 2000g的振动冲 上应用第一个积分加速度计 以来 ，便有近百种不同类型的加速 击而不致损坏。相对于传统的加速度，它的成本较低，且能同时 度计 问世。从最初的机械式发展到液浮、气浮、磁悬浮，到60年 测