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具有温度补偿的新型源线电压补偿电路-微电子学
第 卷第 期 微 电 子 学 ,
46 5 Vol.46 No.5
年 月
2016 10 Microelectronics Oct.2016
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具有温度补偿的新型源线电压补偿电路
,
胡 剑 张圣波
( , )
上海华虹宏力半导体制造有限公司 上海 201203
: 。
摘 要 设计了一种新型的用于 型嵌入式闪存的源线电压补偿电路 该电路可以根据需
NOR
, ,
要编程的位数来控制电荷泵的输出电压 补偿源线译码路径上产生的压降 得到一个稳定的源线电
。 , 。
压 同时 利用相关电路对源线电压进行温度补偿 在一个1.5V64kb×32位的嵌入式NOR型
, 。
闪存中使用该补偿方法 并采用华虹宏力 层多晶硅 层金属工艺进行流片 测试结果
0.13 m4 4
μ
, , 。
表明 对于不同的编程位数和工作温度 样品电路的源线电压均能稳定在 8V左右
: ; ;
关键词 分立栅闪存单元 编程电路 源线电压补偿电路
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
TN433 A 1004-3365201605-0643-04
ANovelSourceLineVoltaeCom ensationCircuitwith
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Tem eratureCom ensation
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HUJian ZHANGShenbo
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( , , )
ShanhaiHuahon GraceSemiconductorManuacturin Cororation Shanhai201203 P.R.China
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