低温泵保养(nxpowerlite).pptVIP

低温泵的构造、保养项目及压缩机的日常点检　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　;１、低温泵的构造 ２、挡板的保养 ３、冷冻机的保养 ４、压缩机的日常点检;８０Ｋ挡板;压缩机 将氦气压缩之后送到冷冻机里 冷冻机 使被压缩的氦气在冷冻机里膨胀，冷却作用 泵壳 泵体内（挡板处）将气体凝固，使气体被吸空获得真空 ※上述的三个系统组成一个整体的低温泵系统运转。　 ; 为什么要定期保养？;溅射设备用的泵体内部;蒸发台使用的泵体内部;;８０Ｋ挡板;再生品;如果表面污染了将吸收辐射出来的热量，使温度上升成为可能;交換が必要な理由; 一段密封件 因为磨损受 污染;传动组件 没有更换部品;バルブハウジング部;Ｃａｐシール押さえ??? を外す。;新品と使用品シールキット比較;交換部品一覧; 冷冻机保养内容;シール/ベアリング;冷冻机内其他可能交换的部品;冷冻机内其他可能交换的部品;冷冻机内其他可能交换的部品;冷冻机内其他可能交换的部品;压缩机日常点检; 压缩机氦气填充;压缩机内部的油成分和油吸附器的作用 　　?氦气在压缩机里和油一起压缩，此时与氦气混在一起的大部分 油在通过分离器的分离。 　　?吸附器的作用是将没有被油分离器分离出来的油成分， 在进入冷冻机前完全过滤;吸附器内部的活性炭在超过交换期限后，会处于饱和状态，导致吸附油分的能力下降 　?　如果油分进入冷冻机里… 　　那么在冷冻机内部变成固体、异物，导致各种机械性故障的 发生。 ;;不进行定期OH的危险性