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第八章 微机电系统 古希腊的一小国某天受到了来自强大邻国的刁难：“小国听令，在棒棒贝的顶端开个小孔，让一根绳子从中穿过，限你们一个月内做到，否则作我们的附属国！” 贝壳是螺旋状细长构造，不管绳子怎么向里塞，就是过不去。期限马上就要临近，国王和大臣已无计可施，正在痛苦时，有位老太婆献上一条妙策。在贝壳的开孔处涂上蜂蜜，将蚂蚁腿上绑一根马鬃从贝壳入口处放进去，蚂蚁受到蜂蜜味的引诱会沿着贝壳内爬到另一端，这样绑到蚁腿上的马鬃就会穿过贝壳。国王大臣们一试果然奏效，从而避免了一场劫难。 在人造卫星、真空装置等非常狭窄的场所作业，或者用胃镜、导管等在人体内做检查治疗时，常常会碰到类似令人烦恼的问题。若能造出会自己行走，按简单指令工作的微小机械，上述难题可迎刃而解，但到目前这样的小机械仅在科幻小说或电影中出现过。 MEMS技术是实现这样的微小机械的重要途径。实用的微机械即微机电系统往往由微执行器、微传感器、控制电路等部分构成，只有这些构成单元有机结合，协调动作，才能达到预定的目的。微机电系统处于MEMS研究的高级阶段，也是MEMS研究的目的所在，它所涉及的课题很多，如材料、设计、制造工艺、控制、能源供给、可靠性评估等方面，须综合考虑。本章在给出微机电系统的特点、微机电系统概念图的基础上，就它的实现方法、所涉及的相关知识做些论述，最后介绍一些国内外学者研制的典型微机电系统。 8.1 微机电系统的特点 微机电学是对用微制造工艺制作的零件构成的微机械进行分析研究的一门科学。普通超精密机械如机床，其尺寸很大，结构的刚度很高，很笨粗，以防止工作中振动变形，保持加工精度。与此相反，微机械的首要目标是结构本身的微型化，在微型化的基础上实现微操作或超精密加工。 利用半导体制造工艺制作的微机电系统具有以下各种优点：①和半导体电路相同，使用刻蚀、光刻等制造工艺，不需要组装、调整；②进一步可以将机械可动部、电子线路、传感器等集成到一片硅板上；③它很少占用地方，可以在一般的机器人到不了的狭窄场所或条件恶劣的地方使用；④由于工作部件的质量小，高速动作可能；⑤由于它的尺寸很小，热膨胀等的影响小；⑥它产生的力和积蓄的能量很小，本质上比较安全。 利用半导体制造工艺制作的微机电系统并非普通机械的微缩。传统的机械呈三次元特征，若它按比例缩小时会遇到尺寸效应的问题，即当机械的尺寸大幅度缩小时，由于表面摩擦力的相对增加可能导致机械本身无法动作。另外，微小尺寸的机械装配时必须在显微镜下进行，这必然导致低效率和高成本。与此相对应，利用半导体制造工艺制作的微机电系统基本呈二次元特征，它一般不需装配，并可能将所有单元如微操作器、传感器、控制电路同时集成到一片硅板上，大大提高生产效率和降低成本。当一个微操作器产生的力很小时，可在同一硅片上集成很多相同的单元，单元之间协调工作，这样可获得较大的力，也可扩大动作范围。 实用的微机电系统往往需要将操作器、传感器和控制电路集成到一起，在这里对象和自身的信息由传感器检出，控制电路对信息进行处理后，在系统内进行简单的控制。若这些单元不集成到一起的话，所有传感器和操作器的信息必须先送到外部，然后将处理后的信息再次送回微系统，这可能导致连线过多或信息交换量太大无法实现。 一个典型的微机电系统如图8-1所示，整个系统制作在一片硅板上。这里微操作器左右移动能使小镊子开闭，镊子开闭的程度由一激光检测器测出，然后送到控制电路，控制电路去控制操作器从而形成闭环控制。另外，镊子开闭程度的最初指令由外部计算机经接口电路送到控制单元。 图8-1 典型微机电系统概念图 8.2 微机电系统实现所面临的课题 微机电学是一门新兴的交叉学科。微机电系统在设计、制造和控制等方面涉及许多科学技术领域，只有这些学科领域的专家学者通力协作，清除一个个障碍，微机电系统才可能逐步得到应用。这里撇开具体应用不谈，仅就微型化时所可能遇到的固有问题做些讨论。一个微机电系统大致可看作由硬件和控制部分组成，如图8-2所示，它所涉及的学科大致有机械学、电工学、电子学、化学、计算机科学、材料学、通信、控制等方面。微型化时首先要考虑的问题如下：①物体的大小与其表面的粗糙度相同程度时，微润滑问题；②材料强度对制造工艺及表面状态的影响很大，微材料力学问题；③流路很狭小时，边界层及分子运动起决定作用，由此产生的微流体力学问题；④对自律行走微系统而言，能量供给方式问题；⑤质量减小时，表面摩擦力引起的非线性控制问题；⑥和外界进行信息交换或力传递时的接口问题；⑦可靠性评估时，劣化模型或加速度实验方法的开发问题。  图8-2 微机电系统所涉及的学科及其关系 8.3 微机电系统介绍 本节介绍一些国内外学者试制的有代表性的微机电系统，对它们的工作原理、构造特点、制造工艺或用途做些简介，以便