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项目六：机电一体化前沿展望 无锡商业职业技术学院 2010．7 一、二、微机电一体化综述 2.1引言机电一体化（Mechatronics）不是机械和电子装置的简单“拼盘”，而是“机”和“电”的有机结合，在功能上互补，以实现系统的最佳构成，增加系统的功能，提高可靠性和性价比，节省原材料和降低成本。机电一体化所涉及的领域主要包括：传统的机械设计、微电子技术、经典控制理论等内容，同时包括了现代信息处理技术、现代设计方法、软件工程，以及现代控制技术。随着现代技术的发展，尤其是机械技术和微电子技术的进步，机电一体化的涵义也在不断发展，机电一体化已经向“宏观”（机械电子学）和“微观”（电子机械学）发展。本文着重从系统角度叙述“微观”的机电一体化，即微机电系统（MEMS）。当前，信息技术已走上多媒体、网络化和智能化的道路，微电子信息处理已向系统级芯片集成发展。无沦从微型化或性能价格比发展看，信息获取(传感)技术和信息执行技术，即所谓“外部设备”技术都己成为发展的瓶颈，它们与“主机”的接口也成为阻碍处理速度的关键。MEMS技术的目标是把信息获取、处理和执行一体化地集成在一起，使之成为真正的信息处理系统，因此它对信息技术的革命意义是不言而喻的。对于传统的“机械学”来说，MEMS技术不仅为之打开了“微尺寸”新领域大门，也是真正实现机电一体化的开始。所以，MEMS被认为是微电子技术的又一次革命，对21世纪的科学技术、生产方式和人类生活质量都会有深远的影响。2.2微机电系统（MEMS）概述2.2.1发展背景微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems 简称MEMS） 是近年来发展迅速的高新科学技术, 是一种集成微电子和微机械、具有微观尺寸的静止或移动部件的装置。1959 年，美国物理学家R Feynmam 提出了制造微型机械的设想。1962 年第一个硅微型压力传感器问世，其后微梁、微齿轮等微型机构又开发成功。20世纪70年代末期，斯坦福大学开发出硅微加工的气相色谱仪，随后人们又提出了制造微传感器、微处理器的构想。20 世纪80 年代初，Middelhoek著文预示微系统的出现和发展前景，对微系统的研究起着重要的推动作用。美国在1987 年举行的IEEE Micro-robots and Tele-operators 研讨会的主题报告标题为small machines，large opportunities，首次提出了微机电系统（micro electro-mechanical system , MEMS）一词, 标志着微机电系统研究的开始。1988年, 美国加州大学伯克利分校研制出直径为60~120μm的硅微型静电电机， 引起了人们的极大关注。对微机电系统研究产生很大的鼓舞。由此可见，美国有关微系统的研究是由微电子技术发展而来，故称之为EMS，这也是目前广为使用的名称。在欧洲,，1989年在荷兰特文蒂( Twente) 以Micro Mechanics的名称首次召开有关微系统的研讨会。1990 年, 在柏林召开的研讨会改称为MST (micro system-technology)，即微系统，这一称谓更强调系统的观点，即如何将多个微型化的传感器、执行器、处理电路等元部件集成为一个智能化的有机整体。欧洲在该领域的重要贡献是开发出扫描隧道951。关于微机电系统研究——显微镜和原子力显微镜以及LIGA工艺。在精密机械加工方面有传统优势的日本则称之为Micro-Machine即微机器。并于1988年正式建立微机械研究组织。到20 世纪末，MEMS技术已逐渐形成一门独立学科, 得到广泛的应用. 根据NEXU S2002 年市场调查结果，目前商业MEMS及其应用发展迅速，每年可销售1 亿多个MEMS产品，2000 年MEMS的销售额更是达到300 亿美元，预计到2005 年达到680 亿美元。2002年5 月在San Jose 召开的MEMS传感器世界博览及研讨会提出了BioMEMS/BioSensor 的新观念，并探讨了MEMS在生物工程中的应用前景及所面临的挑战。2.2.3 MEMS的定义作为最近十几年来新出现的一门技术，MEM对现代科技的影响，将超过晶体管的出现，堪称为跨时代的技术。MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。但是，目前关于MEMS尚无统一的定义。一般地说MEMS具有以下几个非约束性的特征：（1）尺寸在毫米到微米范围之内，区别于一般宏（Macro），即传统的、大于 1cm尺度的“机械”，但并非进入物理上的微观层次。（2）基于（但不限于）硅微加工（Micro fabrication）