声光可调谐滤波器及其在成像.pdf

维普资讯 12 《红 外》月刊 2004年 声光可调谐滤波器及其在成像 光谱仪上的应用 刘石神 (中国科学院上海技术物理研究所 ，上海，200083) 摘 要 本文介绍了声光可调谐滤波器作为色散元件 的原理，并着重对声光可调谐 滤波器在成像光谱仪上 的应用进行 了描述。 关键词 声光可调谐滤波器 成像光谱仪 声光成像光谱仪 1引言 度快 (可达微秒级)； (7)衍射光强可调，衍射 效率高； (8)工作形式多样化； (9)具有成像能 微光学、微 电子 、微机械的结合产生出一 力。声光可调谐滤波器被称作为 “新一代”单色 类新的应用范围很广的器件 一一微型光机 电系 器 ，它为发展工业、医疗、航空等基础科学仪 统 (MOEMS)，它也是机、电、光 、磁、化学、传 器提供 了独特的方法。 感技术等多种技术的综合。作为MOEMS的一 种，微型光谱分析仪具有许多大型光谱仪所不 2声光可调谐滤波器 的分光原理与 具备的优点，如重量轻、体积小、探测速度快、 特性 使用方便 、可集成化 、可批量制造 以及成本低 1922年，Brillouin提 出光波会被介质 中的 廉等。像普通光谱仪一样 ，微型光谱仪有着 巨 传播的声波衍射 ，这种声音 一光相互作用的现 大的应用市场，可以应用在实验室化学分析、 象被称为声光作用。1932年，Debye和Sears通 临床医学检验、工业监测 、航空航天遥感等领 过实验 ，观察到 了这种现象。但 由于声光互作 域 ，因而引起 了人们广泛的兴趣。微型光谱仪 用引起的光 的频率和方 向的变化都很小，所以 的关键技术是分光器件的微型化，而声光可调 在激光 问世 以前，它没有多少实用价值 ，长期 谐滤波器作为一种新型的分光器件 ，可以很好 以来未受到重视。直到 20世纪60年代，随着光 地实现光谱仪的微型化。 学 、电子、材料化学的技术发展以及激光的出 声光可调谐滤波器 (AOTF)是根据声光衍 现和高频压 电转换技术的发展，声光互作用现 射原理制成的新型分光器件，它具有光的调制、 象得到了重视，运用声光互作用原理的器件、 偏转和滤光等方面的功能 [1-5】。声光可调谐滤 设备得到 了迅速 的提高。今天 ，基于声光作用 波器作为色散元件，是传统的光谱分析技术中 原理的声光可调谐滤波器被称为 “新一代”单 所用分光元件 (棱镜或光栅)不能相 比的，最终 色器，已应用于各个领域。 将全面取代常规的光栅技术。AOTF与其他色 声光可调谐滤波器由各向异性的声光互作 散元件相比，具有以下优点 [，】： (1)体积小， 用介质 (一般为TeO2)和键合在其上的换能器构 重量轻，均为固体构件，无运动部件；(2)入射 成。换能器将射频 (RF)驱动信号转换为超声波 角径大；(3)衍射效率高；(4)调谐范 围宽；(5) 振动，传输到互作用介质 内的超声波对互作用 光谱分辨率高 (可达 2A一6A)； (6)光谱扫描速 介质的折射率产生周期性的调制，被调制的 2002级硕士研 究生 INF