光刻机多面体主基板的设计与算法-中国机械工程.PDFVIP

中国机械工程第 卷第 期 年 月上半月 24 9 2013 5 光刻机多面体主基板的设计与算法 吴 飞 王 茜 袁志扬 魏 巍 陈文枢 暋 暋 暋 暋 暋 暋 暋 , , 上海微电子装备有限公司 上海 201203 : , 摘要 论述了一种扫描式投影曝光光刻机主基板的设计制造过程 在该主基板上需要安装投影物镜 。 , , 和多个纳米级高精度测量分系统 为满足设计需求 规划了整机内部结构所需占用的最小三维空间 并 。 , 基于计算几