第4章扫描电子显微镜技术sem.ppt

目录4.1 电镜的发展历史及现;4.1 电镜的发展历史及现状;4.1.1 电镜照片举例 ;（a) 恐龙蛋数码图片 ;例1：恐龙蛋化石的表面分析 ;例2：“泰坦尼克号”铆钉断面形;例2：“泰坦尼克号”铆钉断面形;例3 ：“非典”病毒 （a;例3 ：“非典”病毒 ;例4 ：单晶硅与多晶硅 ;例4 ：单晶硅与多晶硅 ;由以上四个通俗的例子可以发现，;4.1.2 电镜的发展历史（1;（2）磁透镜聚焦理论的提出 1;（3）第一个电子图像的获得 1;（4）第一台透射电镜的诞生 1;（5）第一台商品透射电镜的问世;（6） 现代透射电镜的发展水平;（6）现代透射电镜的发展水平 ;（7） 扫描电镜的发展历程 ;（7） 扫描电镜的发展历程 ;（7） 扫描电镜的发展历程 ;4.2 电镜的分类与特点;4.2.1 电子束与样品的相互;入射电子束反射电子二次电子弹性;图11 反射电子示意图 （1）;图12 二次电子示意图 ;图13 透射电子示意图 ;4.2.2 电镜的基本类型 ;直接透射电子弹性散射电子非弹性;（1）透射电镜 TEM 透射;（2）扫描电镜 SEM 通过;（2）扫描电镜 SEM 与透;4.3 扫描电镜的基本原理;反射电子二次电子4.3.1 扫;反射电子二次电子 图18 电子;图19 电子枪电场加速原理 ;反射电子二次电子（2）磁透镜聚;反射电子二次电子（2）磁透镜聚;反射电子二次电子 图22 扫描;反射电子二次电子4.3.2 扫;电子枪样品检测器扫描线圈荧光屏;4.3.3 成像电子信息的传递;栅网 聚焦环 光导管 光电;4.3.4 同步扫描原理 ;图28 同步扫描示意图（中速）;图29 同步扫描示意图（快速）;扫描系统成像系统共同的扫描控制;同步扫描原理：由电子枪发射的高;同步扫描原理： 由;4.3.5 扫描衬度原理 ;图32 电子束入射角与二次电子;（1）表面形貌衬度：当入射角固;（1）表面形貌衬度：样品不同部;（2）原子序数衬度： ;（2）原子序数衬度：对于含有不;4.3.6 扫描成像过程动态模;图36 心脏修补膜片（PTFE;图37 有序多孔氧化铝模板扫描;图38 纳米线的扫描成像过程 ;4.4 扫描电镜的结构与性能;二次电子4.4.1 扫描电镜的;二次电子 图40 扫描电镜电;二次电子图41 电子枪示意图 ;二次电子图42 扫描电镜的样品;二次电子图43 扫描电镜电磁透;二次电子 栅网 聚焦环 光导;二次电子 图45 扫描电镜的;二次电子（2）电子信息接收系统;二次电子（3）电源与真空系统 ;二次电子（4）扫描成像系统 所;二次电子4.4.2 扫描电镜的;二次电子（1）分辨率 扫描电镜;（1）分辨率 然而扫描电镜的实;（2）放大倍率 当入射电子束在;（2）放大倍率 由于扫描电镜荧;（3）景深 所谓景深，是指对高;（3）景深 扫描电镜β角较小，;4.4.3 扫描电镜仪器实例 ;扫描电镜实例 JSM-760;扫描电镜实例 JSM-670;扫描电镜实例 Nova Na;扫描电镜实例 JCM-570;扫描电镜实例 KYKY-EM;扫描电镜实例 Quant;4.5 扫描电镜实验技术;反射电子二次电子4.5.1 扫;反射电子二次电子（2）充分去除;反射电子二次电子（3）足够的抗;反射电子二次电子（4）确保样品;4.5.2 扫描电镜样品的类型;二次电子4.5.3 扫描电镜样;二次电子（2）非导电性样品 ;二次电子（2）非导电性样品 ;4.6 扫描电镜的应用领域;反射电子二次电子4.6.1 无;反射电子二次电子例2：钴立方纳;反射电子二次电子例3：花状纳米;二次电子例4：Cu2O纳米立方;二次电子例5：ZnO中空纳米球;4.6.2 有机/无机杂化材料;例2：Fe3O4/PPy 复合;例3：聚乙烯包覆碳纳米管 图6;4.6.3 聚合物纳米复合材料;例2：聚丙烯腈/绿坡缕石 纳米;例3：PET–SiO2 纳米复;4.6.4 仿生材料例1：壁虎;例1：壁虎??部仿生材料 图6;例1：壁虎脚部仿生材料 图;例2：仿生减阻材料 图68 ;例2：仿生减阻材料 图69 ;4.6.5 材料表面形态 图7;4.6.6 材料断口形貌 图;4.6.7 材料磨损表面分析 ;无标题;Thank you!