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多级爪式干式真空泵原理分析 多级爪式干式真空泵是上世纪末快速发展成熟的新型(变容积)真空泵，由于其如下突出优点:泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵就能达到3 Pa等，在电子行业得到了非常广泛的应用，替代了油封机械泵以及滑阀真空泵。由于其性能卓越而越来越广泛的应用于航天、核工业、化工、制药、环保等行业，并呈逐年上升的趋势。其主要的结构型式有螺旋型和反爪式，其结构各有优势，相比较而言反爪式比螺旋型优势更明显。但由于其结构限制，泵的抽速目前基本上只做到小于600立方米每小时，不能够满足化工和制药等大抽速的需要。? ? ?针对这种情况，东莞大路通结合以上两种结构的优势，推出螺旋反爪结构，达到更少材料、更低能耗、更好维护、更大抽速的效果，而且能适合化工、制药、环保等领域的需要。1传统经典爪式泵的工作原理? ? ?（1)单级爪泵的工作原理:? ? ?如图1所示，在图la位置A腔和进气口4接通，随着转子对的同步反方向运动A腔容积变大，气体就吸入泵内，B腔内的气体也在转子对的作用下得到了逐渐压缩，我们称为吸气过程;图1b位置A腔容积继续变大，继续吸气，同时，B腔的容积在转子对的同步反方向运动下逐渐变小，运动到和排气口接通的位置气体通过排气口排到下一级，这个过程一直会持续到图lc位置，吸气和排气同时进行，简称为吸排气过程;在图lc位置A腔达到了最大容积，吸气结束和B腔的容积达到了最小，排气结束。转子挡住了进气口和排气口，起到了自动关闭的作用;在图1d位置随着转子的运转，B腔内没有被排出去的气体和A腔内被吸入的气体混合到了一起，既不吸气也不排气，我们称为过渡过程; ? ? ?不间断重复以上3个过程，达到了连续不间断抽真空的目的，由于泵腔内无需用水或油等介质，有如下的优势:能抽各种化学气体、特殊不锈钢材料制做的爪泵还能抽腐蚀性气体。在航天、制药、化工、核工业等行业得到了广泛的应用。 ?单级爪泵的工作原理? ?(2)常见的多级爪泵原理: ? ? 如图2和图3所示，在第一级的排气口位置，设计一个长长的通道，以便于第一级排出去的气体能进入第二级的进气口。同时为了保证在第一级排气时，第二级泵体3B开始吸气，所以第二级的同步转子对比第一级落后一定角度的相位差，通过研究发现，相位差在300到120。之间都是合理的，最合理的角度还需要进一步研究。通道不能设计得太小。依此方法来设计第二级转子对以及第四级转子对和通道，就会发现各级转子对依次沿着转子对旋转的方向落后于上一级，串联在主轴上就呈现了螺旋型布局，称为螺旋型。 常见的多级爪泵原理 ? ? 其结构有如下优点而被广泛采用:转子的放置都如上图放置，从上世纪80年代末期欧洲几家企业生产过这样的泵以后，产品在市场方面得到了非常好的反应和使用效果，目前在中国均得到了最广泛的采用。 常见的多级爪泵原理2 ? ? 如图4所示，其工作过程为:气体从顶盖进入沿箭头方向进入到第一级泵体内，通过第一级转子对的作用，压缩气体沿箭头方向继续进入第一级隔板内，分别通过第二级泵腔、第二级泵腔和第四级泵腔，气体进行了比较慢长而又复杂的运动。 ??四级泵结构原理? ? 经过大量的实验以及用户的使用反馈，从加工成本和制造方面有如下的缺点:①第一级隔板、第二级隔板以及第二级隔板中间的气体通道长，不好加工;②加工完成后气体通道还需要有工艺堵来密封，容易泄漏;③隔板的厚度较厚，导致泵的长度较长，同样的四级泵比别的干式真空泵要长，重量要重;④隔板内有死空间，不利于做防腐蚀泵等处理。 ? ? 从性能和使用方面有以下优缺点:①由于充分利用了爪式干式真空泵的原理优势，转子压缩过程中能自动关闭进气口和排气口，所以，很容易做到较高的极限真空。②由于气体通道流导往往由于结构的制约，容易形成较大的气体流动阻力，所以，泵入口压力增加到一定值后，电机的电流将大幅度的上升，并且不成线性变化，气体过压缩的现象特别突出，所以，破空阶段效率很低并且时间太长。 ?反爪型真空泵结构 ? ? ?(3)“反爪泵”的原理和性能分析:? ? 从图6可以看出，第一级的排气口1和第二级的进气口1B在同一位置，第一级的爪式转子对2和第二级的爪式转子对2B是相反的，隔板上没有了气体通道，第二级泵体内转子以及气道和第一级泵体内结构相同，第四级和第二级结构相同，级间交错分布。我们称这样的结构为“反爪式干式真空泵”。可是此结构不能保证第一级在排气时第二级正好吸气，在第一级排气结束时第二级吸气也结束，就通过在隔板上加工台阶的气体通道来实现，为了保证不影响气体的流量，隔板的厚度比较厚。 ? ? 从上世纪80年代末期英国某公司生产过这样的泵以后，目前在中国均得到了采用，四级泵设计完成后基本如下图所示意结构。 ?四级泵设计 ? ? 如图7所示，气体从进气口通过转子对3以及泵腔2