SYSTEMS FOR PURIFYING SILANE(硅烷纯化系统)US8524045.pdfVIP

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2017-09-30 发布于湖北
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SYSTEMS FOR PURIFYING SILANE(硅烷纯化系统)US8524045

US008524045B2 (12) United States Patent (10) Patent N0.: US 8,524,045 B2 Truong et a]. (45) Date of Patent: *Sep. 3, 2013 (54) SYSTEMS FOR PURIFYING SILANE (56) References Cited (75) Inventors: Timothy Dinh Truong, Pearland, TX U.S. PATENT DOCUMENTS (US); Zhihui Gu, Houston, TX (US); 3,886,221 A * 5/1975 Agee et al. .. 570/242 Puneet Gupta, Houston, TX (US) 3,903,183 A * 9/1975 Wikman et al. .. 4,099,936 A * 7/1978 Tarancon .. 95/127 (73) Assignee: MEMC Electronic Materials, Inc., St. 4,340,574 A 7/1982 Coleman 4,554,141 A 11/1985 Scull et al. Peters, MO (US) 4,610,858 A * 9/1986 Yamada et al. .. 423/342 4,632,816 A 12/1986 Marlett (*) Notice: Subject to any disclaimer, the term ofthis 4,676,967 A * 6/1987 Breneman .. 423/347 patent is extended or adjusted under 35 5,075,092 A 12/1991 Boone et al. U.S.C. 154(b) by 4 days. 5,206,004 A 4/1993 Park