新型扫描微波显微术-物理学进展.PDF

第 35 卷 第 6 期 物 理 学 进 展 Vol.35 No.6 2015 年 12 月 PROGRESS IN PHYSICS Dec. 2015 新新新型型型扫扫扫描描描微微微波波波显显显微微微术术术 1 1 2 1∗ 许 瑞 ，郑志月 ，季 威 ，程志海 国家纳米科学中心，中国科学院纳米科学卓越中心和纳米标准与检测重点实验室，北京 中国人民大学物理系，北京 摘摘摘要要要 微波是整个电磁频谱非常重要的组成部分，可以与物质发生丰富的相互作用；而原子力 显微术 (Atomic Force Microscopy，AFM) 有超高的空间分辨率，是纳米研究的核心工具。将 微波技术与 AFM 结合将实现一种全新的扫描微波显微术 (Scanning Microwave Microscopy， SMM)。该技术可以探测各种样品（包括导体、半导体、绝缘体及其它新型材料）在微纳米尺度 的多种电学性质，如载流子类型、介电常数、电导率和导磁系数等；以及实现微纳米尺度下微波 探测技术，如NMR、ESR 等，具有非常广阔的应用前景。文中综述了SMM 的基本原理，仪器 组成，并介绍了其在电学性质探测、各种新型材料、生物等方面的前沿应用实例。最后，文章展 望了扫描微波显微术的进一步技术发展和应用研究。 关关关键键键词词词: 原子力显微术；扫描微波显微术；微波与物质相互作用；近场相互作用 中中中图图图分分分类类类号号号：：：O469 文文文献献献标标标识识识码码码：：：A 10.13725/j.cnki.pip.2015.06.001 目 录 铁电 磁性 引言 自旋 生物 扫描微波显微术的理论基础 远场与近场 结束语 电磁频谱与物质的相互作用 探针样品近场相互作用的理论模型 致 谢 集总元件模型 参考文献 有限元分析 扫描微波显微术的仪器组成 近场微波探针 引言 微波发射与探测部分 在纳米科学与技术迅猛发展中，原子力显微 及 术 (Atomic Force Microscopy, AFM)，不同于光学显 工作模式、校准与定量分析