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真空环境下飞秒激光制备的微构造硅的吸收和退火特性-红外与激光工程.PDFVIP

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  • 2017-11-04 发布于天津
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真空环境下飞秒激光制备的微构造硅的吸收和退火特性-红外与激光工程.PDF

    真空环境下飞秒激光制备的微构造硅的吸收和退火特性-红外与激光工程

    第 卷第 期 年 月 43 2 红外与激光工程 2014 2 Vol.43 No.2 Infrared and Laser Engineering Feb.2014 真空环境下飞秒激光制备的微构造硅的吸收和退火特性 陈向前 ，彭 滟 ，方 丹 ，周云燕 ，刘姝祺 ，蔡 斌 ，朱 亦鸣 (教 育部光 学仪 器与 系统工程研 究 中心 上 海市现代光 学 系统重点 实验 室 上 海理 工大学 光 电信 息与计算机 工程 学院 ，上 海 200093)

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