矩形非球面圆弧半径误差分离及补偿技术pdf.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２５ １ Ｖｏｌ．２５ Ｎｏ．１ 　 　 年 月 ， ２０１３ １ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲ ＬＡＳＥＲ ＡＮＤ ＰＡＲＴＩＣＬＥ ＢＥＡＭＳ Ｊａｎ． ２０１３ 　 　 　 　 　 　 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１３０１００１７０５ 　 － － － 矩形非球面圆弧半径误差分离及补偿技术＊ １