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第5章 超声波传感器 超声波传感器 机械振动在介质中的传播称为声波，人耳可以听到 的声波频率范围是16～20kHz，超过20kHz 的声波称为 超声波，如图所示。 101 10 2 103 10 4 105 10 6 107 f (H z ) 声波的分类 1）纵波：质点振动方向与传播方向一致的波称为纵波。它能 在固体、液体和气体中传播。 2 ）横波：质点振动方向与传播方向相垂直的波称为横波。 3 ）表面波：质点的振动介于纵波和横波之间，沿着表面传播， 振幅随着深度的增加而迅速衰减的波称为表面波。它只能在固 体的表面传播。 声敏传感器是将在气体、液体或固体介质中传播的机械振 动转换为电信号的器件或装置。传统的声敏传感器包括电阻变 换型、压电式、电容式等，下面介绍超声波传感器和声表面波 （SAW ）传感器。 超声波的特点 u 频率高、波长短、绕射现象小； u 方向性好、能够成为射线而定向传播； u 对液体、固体的穿透本领很大，在阳光不透明的固体 中，它可穿透几十米的深度。 u 碰到杂质或分界面会产生显著反射形成反射式回波， 碰到活动物体能产生多普勒效应； u 传播速度取决于媒质，与超声波频率无关。 以非接触方式工作，特别适用于防爆、放射性、医学等领域 应用，也更容易安装和维护。 超声波传感器的结构 利用压电材料制成，逆压电效应将电振动转换成机械 振动产生超声波，作为发射探头；正压电效应将超声波转 换成电信号，作为接收探头。 压电式换能器是利用 电致伸缩效应制成的。通 过在压电材料上施加交变 电压，使它产生电致伸缩 振动而产生超声波。常用 的压电材料为石英晶体、 压电陶瓷和锆钛酸铅等。 压电式超声波探头结构 超声波传感器的性能指标 超声探头的核心是其塑料外套或者金属外套中的一块压电 晶片。晶片的材料、大小 （如直径和厚度）各不相同，因此每 个探头的性能是不同的： （1）工作频率：压电晶片的共振频率。当交流电压的频率和 晶片的共振频率相等时，输出的能量最大，灵敏度也最高。 （2 ）工作温度：由于压电材料的居里点一般比较高，特别是 诊断用超声波探头使用功率较小，工作温度比较低，可以长时 间地工作而不失效。当超声探头的温度比较高时，需要单独的 制冷设备。 （3 ）灵敏度：主要取决于制造晶片本身。机电耦合系数大， 灵敏度高；反之，灵敏度低。 超声波压电陶瓷片的形式 超声波传感器的形式 超声波传感器的应用 § 各种场合的距离测量； § 生产线上的工件计数； § 接近开关； § 倒车报警装置； § 机器人自动避障装置； § 超声波液位/物位计； § 自动门开关装置； § 液体、气体的浓度和流量检测； § 超声波清洗； § 超声波雾化； § 探伤、测厚、测密度； § 医疗器械、美容仪、按摩仪 超声波传感器的应用 超声波测物位 ：通过测量发射和接收信号之间的时间差测 距离。包括液位测量、固体料位测量、固－液分界面测量以 及液－液分界面测量和液体有无测量等。 v ×t h = 2 超声波传感器的应用 超声波流量传感器 B1 B2 v