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第二章 薄膜技术物理基础 第二章 薄膜技术物理基础 主要内容 1. 表面原子结构：二维结晶学和表面结构的表征 2. 表面能：定义，计算方法 3. 薄膜中的扩散 2 2 2.1表面原子结构 几个表面定义 理想表面：沿着三维晶体相互平行的两个面切开，得到的表面。 除了原子平移对称性破坏，表面原子仍然保持解理前的三维周 期结构。通常作为表面研究的参照面。 表面原子的排列图案，可以从三维晶体结构导出。 例如，面心立方的（100），（110），（111）面。 清洁表面：没有外界杂质的真实表面。 存在原子驰豫和重构 存在原子驰豫和重构 无任何污染. 无吸附, 无催化反应,无杂质扩散等物理化学效 应的表面. 获得很困难，超高真空解理，或者进行各种必要的操作. 另外，解理后，表面原子失去相邻原子，失去了作用力的平 衡，原子不可能保持原来体相中的格点位置。 3 3 弛豫表面：表面原子因受力不均在法线方向上向内收缩或向外 膨胀。弛豫改变键角，但仍保留衬底原胞的对称性。 主要是表面第一层原子的驰豫，也可以发生在表面以下的 几个原子层范围。 压缩效应；弛张效应；起伏效应；双电层效应 压缩效应 起伏效应 4 4 重构（再构）表面：表面原子在与表面平行的方向上的周期 也发生变化，发生重新排列，不同于晶体内部原子排列的二 维对称性（有再构）。 主要取决于断键的情况 再构和弛豫使体系能量降低，达到一个新的稳定平衡。 再构和弛豫二者并不截然分开，常同时发生再构也可以涉及 到几个原子层。 5 5 台阶表面：有台阶存在的表面。 由一些较大的平坦区和高度不 同的台阶组成。 邻晶面（邻位面）：沿表面（例001 ）偏离1~20 切割，在表面 有许多台阶。 表面上存在单原子高度，单调上升的规则台阶。 有吸附 实际表面：外来原子或分子等。 有吸附 6 6 1. 二维对称性 1. 二维对称性 三维晶格 三维点阵 基本单元 = + 三维晶格=三维点阵+基本单元 r T ma nb + lc + r r 平移对称性： 7种晶系 14种布拉菲格子（点阵） 32种点群：点对称操作，表示晶体宏观对称 性，至少保持一点不动，转动、镜面、对称中心 等 230种空间群：晶体的微观对称性，平移操作+ 点对称操作，还包括螺旋轴、滑移面 二维晶格是三维晶格的特例 7 7 表面——二维情况 确定表面周期性的基础是二维晶体学 二维情况，原子的周期性结构可视为一个平面点阵（格子） 和基元组成。 二维点阵是一个平面上阵点的无限阵列，任何阵点周围情 况相同。 r v 任选一阵点为原点，任何点阵的位矢： v