吉时利4200产品说明书.docxVIP

吉时利 (Keithley) 仪器公司在其4200型半导体特性分析系统中新增加了脉冲信号发生和测量功能，支持脉冲式的半导体特性分析功能。新的PIV（脉冲I-V）子系统，更便于进行高介电（High－k）材料、热敏感器件和先进存储芯片等的前沿技术研究，使其测量更加准确，产品投入市场更加快速。据称这是第一款商用化的集成了精确、可重复的脉冲和DC测量于一体的解决方案，而且使用非常方便。脉冲I-V （简称PIV）子系统是吉时利公司Model 4200-SCS系统的一个新增选项。Model 4200-SCS系统适用于实验室级别的精准DC特性测量和分析，具有亚飞安级的微电流分辨率和实时绘图、数据分析和处理能力。该系统集成了目前最先进的半导体特性分析性能，包括一台带有Windows XP操作系统和大容量存储器的嵌入式PC机。脉冲I-V （PIV）子系统建立在一个新的双通道脉冲发生器卡上，该卡的特点是拥有两个独立的通道，频率范围从1Hz到50MHz。它能够产生短到10纳秒的脉冲，允许对SOI和其他65nm以及更小尺寸的器件和过程进行真实的等温脉冲测量。精细的脉冲边缘的缓慢控制允许对界面态、AC Stress测试和存储器测试进行精确的源和测量。用户能够控制几个脉冲参数，例如：脉冲宽度、占空比、升降时间、幅度和偏移量。把脉冲式的功能和测量同Model 4200-SCS世界领先的DC特性结合起来，这在市场上尚是唯一的。与脉冲I-V （PIV）子系统捆绑在一起的新的、正在申请专利的软件，无论在准确度还是在可重复性方面都带来了更好的效果。集成的软件和面向用户的友好界面都是很容易学习和使用的，所以即使是非专业的用户都能快速上手并且得到很好的脉冲I-V测量结果。PIV软件控制着脉冲发生器和测量，设置和驱动双通道脉冲发生器的脉冲产生、触发、进行脉冲测量，并收集和提交数据。新的PIV软件套装，具有为保证测量完整性而设置的电缆补偿算法和为精确的脉冲极限电压提取设置的Load-line校正方案。 PIV子系统内包含了一些样例方案（Sample Projects）和代码，用于执行脉冲I-V和界面态测试，节省软件开发的时间和费用。完整的PIV子系统缩短了脉冲测量的学习曲线，还允许在单一系统中进行多种测试。主要特点及优点:直观的、点击式Windows 操作环境独特的远端前置放大器，将SMU的分辨率扩展至0.1fA内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能支持 Keithley590 型与 Agilent 4284 型C-V 仪、Keithley 开关矩阵与Agilent 81110 脉冲发生器等多种外围设备硬件由Keithley 交互式测试环境（KITE）来控制用户测试模块功能，可用于外接仪表控制与测试平台集成，是KITE功能的扩充包括驱动软件，支持Cascade Microtech Summit12K 系列、 Karl Suss PA-200、micromanipulator 的8860 自动和手动探针台容易使用的4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机，Windows NT操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。4200-SCS 提供了很大的灵活性，其硬件选项包括开关矩阵、Keithley 与Agilent C-V 仪以及脉冲发生器等多种选择。4200-SCS为模块化结构配置非常灵活。系统最多可支持八个源－测量单元，包括最多四个具有1A/20W能力的大功率SMU。远端前置放大器选件 4200-PA，可以有效地减少长电缆所贡献的噪声，且使SMU扩大五个小电流量程，使其测量能力扩展到0.1fA。前置放大器模块同系统有机地组合成一体，从使用者看来，相当于扩充了SMU的测量分辨率。应用半导体器件： 片上参数测试 晶圆级可靠性 封装器件的特性分析 使用Model4200-SCS控制外部LCR表进行C-V、I-V特性分析 高K栅电荷俘获 易受自加热效应影响的器件和材料的等温测试 电荷泵方法分析MOSFET器件的界面态密度 电阻式或电容式MEMS驱动特性分析 光电器件： 半导体激光二极管DC/CW特性分析 收发模块DC/CW特性分析 PIN和APD特性分析 科技开发： 碳纳米管特性分析 材料研究 电化学 美商吉时利仪器公司推出全新业界领先4200-SCS包含整合式C-V 模组和软体使得C-V/I-V/PULSE测试更精确更迅速台北讯 – 2007年10月2