等离子体还原四氯化硅生产三氯氢硅试验.pdfVIP

第46卷 第 1期 氯 碱 工 业 Vo1．46，No．1 2010年 1月 Chlor——AlkaliIndustry Jan．，2010 【产 品】 等离子体还原 四氯化硅生产 三氯氢硅试验 陈涵斌 ，李育亮，印永祥，戴晓雁 (四川大学化工学院，四川成都610065) [关键词]三氯氢硅 ；四氯化硅；直流放电等离子体；收率；能耗 [摘 要]进行了用直流放电等离子体法还原四氯化硅生产三氯氢硅的试验 ，反应器的功率达到30kW，三氯 氢硅单程收率超过了60％，每生产 1kg三氯氢硅耗电4．55kW ·h。通过计算得到了氢气解离度、电离度与温度的 关系，归纳出氢气的比定压热容随温度变化的函数，根据试验结果确定了氢气和四氯化硅的最佳进料配比。 [中图分类号]TQ127．2 [文献标志码]A [文章编号]1008—133X(2010)01—0030—04 Experimentsfortric