新代制造技术精密与超精密加工技术.pptVIP

主要内容 精密与超精密加工概念 精密、超精密加工设备 加工工具和被加工材料 主要加工方法 精密、超精密加工环境 超精密加工发展趋势 1. 概念 按加工精度，可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工。 精密加工：加工精度（包括尺寸精度和形位精度）在0.1～1μm，表面粗糙度Ra小于0.1μm的加工技术； 超精密加工：加工精度小于0.1μm，表面粗糙度Ra小于0.025μm，以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术，亦称之为亚微米级加工技术，且正在向纳米级加工技术发展。 超精密加工是以高精度为目标的技术，必须综合应用各种新技术、且在各方面要求精益求精。实现超精加工的主要条件包括以下各方面高新技术： （1）超精密加工机床与装、夹具； （2）超精密切削刀具、刀具材料、刀具刃磨技术； （3）超精密加工工艺； （4）超精密加工环境控制（包括恒温、隔振、洁净控制等） （5）超精密加工的测控技术。 2. 超精密加工的发展、应用 超精密加工技术是在20世纪50年代初美国用单刃金刚石车刀镜面切削铝合金和无氧铜开始的。 1977年日本精机学会精密机床研究委员会根据当时技术发展的要求，对机床的加工精度标准提出补充IT－1和IT－2两个等级（见下表），比原来最高精度等级IT－0提高了很多。 近年来，超精密加工精度从0.1μm提高到0.01μm。随着大规模集成电路的发展及微