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电子材料连水养SYLien电浆的基础原理制程与应用
電子材料
Electronic Materials
電漿的基礎原理 、製程與應用
務必好好研讀 ,懂電漿就不怕沒工作 !
連水養 (S. Y. Lien)
此章節部分內容摘錄於Hong Xiao, Ph. D.之投影片 1
懂電漿就不怕沒工作 !
電漿反應器普及而廣泛的應用到各種元件的製造 ,
例如電腦晶片 、記憶體 、硬碟 、電晶體 、光碟、液
晶顯示器 、電漿顯示器 等。另外電漿技術也應用在
航太機械 、高分子工業和環保污染防制上 ,例如
光學元件的鍍膜 ;提高模具使用壽命的抗磨耗膜 ;
不織布 、光學塑膠或玻璃的表面處理 ;微感測器的
製造 ;微機械的加工 ;人工關節、骨骼及人工器官
的抗磨耗膜 ,生醫材料的表面處理等,皆需要仰賴
電漿技術 ,所以電漿技術的開發對這些產業的發展
具有相當的影響。
2
討論的主題 :
•什麼是電漿?
•為什麼使用電漿?
•離子轟擊(ion bombardment)
•電漿製程的應用
•學習半導體製程技術中你會遇
到的問體討論
3
電漿製程的應用
•化學氣相沉積 (CVD)
•蝕刻 (Etching)
•物理氣相沉積(PVD)
•離子佈植(implant)
• 光阻剝除(PR leave-off)
•製程反應室的的乾式清洗(Cleaning)
4
電漿是什麼 ?
具有等量的正電荷和負電荷的離子氣體
更精確的定義 :電漿就是有著帶電與中性粒
子之準中性的氣體 ,電漿本身就是這些例子
的集體行為
例如
太陽,焰火,氖光 , 等 (電漿是一團會發光的東西 )
電漿是離子化的離子氣體 ,電漿有顏色是因為 ”
輝光效應所造成的” ,不同氣體形成的電漿 ,所
呈現的顏色就不一樣 !
5
電漿的成分
電漿是由中性原子或分子 、負電
電子( )和正電(離子所構成)
準中性- : n n
i e
游離率: h n /(n + n )
e e n
6
游離率
游離率主要受電漿中的電子能量決定
大部分電漿製程反應室,電漿的游離
率小於0.001%.
高密度電漿 (HDP)源的有較高的游離
率, 約1%
太陽核心的游離率約~100%.
7
中性氣體密度
理想氣體
4 3
1摩爾 = 22.4 升= 2.2410
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