金属互连电迁移噪声的分形特征.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 D) $##! ， ， ， 1:M ’D) L: ’ L:N7? $##! （ ） ###.($%#5$##!5D) 5))!.#) -EI- GJK34E- 34L4E- !$##! EFH= ’ GFO; ’ 3:6 ’ 金属互连电迁移噪声的分形特征! 陈春霞 杜 磊 何 亮 胡 瑾 黄小君 卫 涛 （西安电子科技大学技术物理学院，西安 !##!） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $##! $ % $##! $ 为了研究金属互连电迁移失效机理并寻找新的电迁移表征参量，应用分形理论，通过电子扩散轨迹分形维数， 将电迁移噪声时间序列分形维数与晶粒间界分形维数相联系，确定了噪声时间序列分形维数在电迁移演变中的变 化趋势’ 研究结果表明，在金属互连电迁移前期，晶粒间界形貌越来越复杂，致使噪声时间序列的分形维数逐渐增 大；成核后，由于空位凝聚成空洞，晶粒间界形貌变得较成核前规则，致使噪声时间序列的分形维数减小；成核时刻 是其转折点’ 实验结果证明理论分析的正确性，噪声时间序列的分形维数可望作为金属互连电迁移演变的表征 参量’ 关键词：电迁移，金属互连，分形 ： ， !## !()#* ))(#+ 征参量（功率谱幅值 （）和频率指数 ）有其局 ! # ! 0 引 言 限性’ 近年来，人们已经注意到这一点 例如 等 ’ EF? ［ ］ 金属互连电迁移是由于互连线中金属原子受到 人用时域分析方法分析电迁移噪声信号# ’ 此外， 运动电子的作用引起的物质输运现象 只要互连线 ’ 分形理论也开始应用于金属互连电迁移研究，文献 中电流足够大，电迁移现象就不可避免 随着 ’ 1234 ［ — ］认为晶粒间界的微观几何结构具有分形形 ( 特征尺寸向着深亚微米甚至纳米尺度发展，电流密 ［］ 貌特征，而 % 5# 噪声 除具有频率特性外，也具有分 度大幅度增加，达到 $ 的数量级，电迁移引发 /-5 67