LIGA技术及其在级质谱计阵列微型化中的应用.pdfVIP

维普资讯 第 25卷 增刊 质 谱 学 报 Vo1．25 Suppl 2004年 10月 JournalofChineseMassSpectrometrySociety Oct．2004 LIGA技术及其在 四级质谱计阵列微型化 中的应用 丁军平 ，周抗寒，黄 刚，凌 波 ，刘学博 (航天医学工程研究所 ，北京 100094) LIGA Technologyand ItsApplication in M iniature QuadrupoleMassSpectrometerArray DING Jun—ping，ZHOU Kanghan，HUANG Gang，LING Bo，LIU Xue—bo (InstituteofSpaceMedicoEngineering，Beijing 100094，China) Abstract：Thequadrupolemassspectrometerarray (QMSA)isthemostimportantem— branchmentintheminiaturizationofthequadrupolemassspectrometer (QMS)．Making miniaturemassfilterisoneofthekeytechnologyinthemanufactureofQMSA．Inthispa— per，themethodofLIGA technologyand itsapplication inmakingmassspectrometerare introduced．Thisresolveradicallythequestionhow tomakingaminiatureQMS invol— nnie，weight，powerandcost． Keywords：LIGA technology；massspectrometer；quadrupolemassspectrometerarray； m ；niat1Jre 中图分类号：0657．63 文献标识码 ：A 文章编号 2004)增刊～223～03 四极质谱计 问世于2o世纪 5o年代，其制造 滤质器作为质谱仪器的关键部分，在很大程 技术成熟于 2O世纪 7O年代 。目前 已经成为最主 度上决定整 台质谱仪器 的体积 、质量 、功耗等性 要 的商用质谱计之一 。为适应科学技术的发展 ， 能，其小型化制造技术成为小型质谱计生产 的关 尤其是载人航天、宇宙探索、国防现代化和 民用 键技术 。作为制作三维微结构理想途径的LIGA 便携检测的需要 ，四极质谱计在 2O世纪 8O年代 技术 ，由于其加工深度可达 mm量级 ，精度可至 中期开始 向小型化发展 ，主要有小型四极质谱 亚 m量级，深宽比高达 200，易于形成低成本工 计、单极质谱计和阵列质谱计三大分支。其中，阵 业生产规模等优点，使其成为制造小型质谱计的 列质谱计发展最快 、最具生命力，它在 2o世纪 理想技术 。 9O年代初在美 国研制成功，随后在 NASA 的喷 气推进实验室 (JPL)得到迅猛发展 ，并 已开始航 1 LIGA技术 天应 用 ¨ LIGA是德文光刻 (Lithografie)、电镀 (Gal 收稿 日期 ：200407～31；修 回 日期 ：200410～14 作者简介：丁军平 (1971～)，男 (汉族)，山西新绛人，助理研究员 ，从事质谱计研制和应用研究 E～mail：dingjun