磁透镜对XPS分析测试的影响.PDFVIP

磁透镜对XPS分析测试的影响 蒋 栋 华东理工大学 分析测试中心 磁透镜对XPS分析测试的影响  现代XPS能谱仪中 ，为了提高灵敏度 ，在样品下方设置了一个经过特殊设计 的磁透镜 ，在其磁场的作用下对光电子进行聚焦 ，增大光电子的立体接收角 ， 从而提高XPS能谱仪的灵敏度。  但是通过大量的XPS分析测试 ，我们发现在使用不同的X射线源作为激发源 以及使用不同的荷电中和方法时 ，磁透镜的使用会对XPS分析测试产生不同 的影响 ，例如：光电子计数率、光电子接收面积、绝缘样品的表面荷电中和 效果等。这些影响不仅可以使XPS谱峰的峰形和峰强发生变化 ，还可以使谱 峰的位置发生明显的位移。 磁透镜对XPS分析测试的影响 XPS能谱仪结构图 磁透镜对XPS分析测试的影响  磁透镜对大束斑非单色化Al Kα X射线源作为激发源进行XPS分析测试的影响 + Al箔表面经过Ar 清洁 ，清 洁区域直径约为1.25mm Al箔的Al2p窄扫图（a ：磁透镜不开启；b ：磁透镜开启） 当开启磁透镜时 ，在Al箔表面检测到的Al的氧化物的含量要低于不开启磁透镜时。这一结果 表明当磁透镜开启时 ，光电子的接收面积较小 ，进入到分析器中的光电子大部分来自于经过 表面清洁的区域。当磁透镜关闭时 ，光电子的接收面积较大 ，进入到分析器中的光电子来自 于经过表面清洁的区域和外围没有经过表面清洁的区域两部分。 磁透镜对XPS分析测试的影响  磁透镜对大束斑非单色化Al Kα X射线源作为激发源进行XPS分析测试的影响 PET 的XPS谱图（a ：磁透镜不开启；b ：磁透镜开启；1：宽扫图；2 ：C1s窄扫图） 磁透镜对XPS分析测试的影响  磁透镜对大束斑非单色化Al Kα X射线源作为激发源进行XPS分析测试的影响 当磁透镜关闭时，PET 的C1s峰的峰位及峰形是正常的。但是当磁透镜开启 时，PET 的C1s峰消失了。从PET 的XPS 宽扫图中可以看到，当磁透镜开启 时，PET 的C1s峰发生了+45ev左右的位移。 这是由于当使用非单色化Al Kα X射线源作为激发源时，X射线源会产生大 量的低能电子，可以很好地对绝缘样品的表面进行荷电中和。但是当磁透 镜开启时，由于磁力线与X射线源所产生的低能电子射向样品表面的方向 成一定角度，磁场与低能电子之间的相互作用改变了低能电子的运动方向， 使其难以到达绝缘样品表面，无法起到荷电中和作用，从而使光电子峰向 高结合能端移动。 磁透镜对XPS分析测试的影响  磁透镜对微聚焦单色化Al Kα X射线源作为激发源进行XPS分析测试的影响 X射线束斑直径250μm Al箔的Al2p窄扫图（a ：磁透镜不开启；b ：磁透镜开启） 使用微聚焦单色化Al Kα X射线源作为激发源时 ，磁透镜的开启与否对于导电样品Al箔的Al2p 峰的峰位及峰形同样没有明显影响 ，而在Al箔表面检测到的Al的氧化物的含量也没有发生明 显的变化。这是由于使用微聚焦单色化Al Kα X射线源作为激发源时 ，光电子的接收面积取决 于X射线光斑的大小 ，此时进入到分析器中的光电子都来自于经过表面清洁的区域。 磁透镜对XPS分析测试的影响  磁透镜对微聚焦单色化Al Kα X射线源作为激发源进行XPS分析测试的影响 PET 的XPS谱图（a ：离轴中和枪；b ：同轴中和枪；1：宽扫图；2 ：C1s窄扫图） 磁透镜对XPS分析测试的影响  磁透镜对微聚焦单色化Al Kα