维数缩减技术的原理.PDFVIP

第 卷 电 子 科 学 学 刊 年 发展快速算法 , 它将 复杂 的三维 结构切割成许 多个沿垂直 于介质 交界面方 向均匀 的波 导 , 每个 波 导 中的场用模 式 函数展 开 , 然后用模 式匹配法 求解 通 过这 种方法 , 原来 复杂 的三 维结构被 分解 为二 维结构 , 而 其 中许 多二 维结构 的模式 函数可解析地 写 出 如纯介质层 , 因此 能大大减 少计算所 需 的时 间和 内存 此外 , 对 不 能解 析 写 出模 式 函数 的二 维 结构 , 则可用 数值 办法 获得 数值模式 函数 , 因此该方法 又 可 以处理 不 同形状 的二 维 结构 , 具有充分 的灵 活性 维数 缩减技 术 的原 理 由于 目前集成 电路 的时钟频 率仍然低 于 , 因此有效信 号 的频率低 于 , 进 行 准静态分析 已经足够精确 中典 型 的通 孔 互 连 结构 如 图 所示 , 埋 于 多层介质 中走 向相 同但位 于不 同层 中的上 下 两信号线通过 一 金属柱 垂直 相 连 由于整 个 结构 关 于面 一 ’对 称 , 故可将面 当作磁壁 , 只分析一半 结构 的 电容 , 结果乘 以 即得总 电容 又 由准静 态 的定义 , 距 离不连续性 足够远且 垂直 于信号线 的两个面 以及 平行 于信号线 的一个面 也可视 为 磁壁 , 这样 四个磁壁就将三 维不连续 区域割裂 出来 , 可 以单独进 行 分析 , 而磁壁 以外 的部 分 已 乐 牛 收到, 定稿 电 子 科 学 学 刊 卷 功二 , 导体边 界上 功 枷 二 , 介质 边 界上 , , , 。 是计算 电容 时在导体上加 的 电压 一般取为 指边 界上 的单位法 向量 另外 该结构 的 、 , , 二 , , 二 二 , , 上 下表面接地 在介质层 中 利用 分离变量法 令 试 , 约从 代入 式可得 二 ,