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酸碱性蚀刻液再生及铜回收系统.pdf

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酸碱性蚀刻液再生及铜回收系统

TOC MACHINERY 陶克机械 主要内容 1. 客户收益 2. PCB制程情况分析与比较 3. 系统功能和制程设计 4. 收益分析 5. 客户端应用情况反馈 6. 水、气处理单元介绍 7. 设备规格及主要技术参数 Toc Machinery (Suzhou) Co., Ltd TOC T. 0086 5121079 1. 客户收益 • 降低蚀刻线运营成本 – 闭环系统可以最大限度降低消耗,不在需要使用氧化剂和蚀刻原液 – 简洁方便的系统控制可以降低系统及制程的运营成本 • 可得到更高的蚀刻因子和蚀刻均匀性 – 循环制程及精确的参数控制 – 所有制程单元的同步运行 • 完全环保且经济高效 – 配以水、气处理单元可以完全杜绝设备的废水和废气排放 – 电解铜的纯度可达99.1 % 以上 Toc Machinery (Suzhou) Co., Ltd TOC T. 0086 5121079 2. PCB蚀刻制程比较 酸/碱蚀刻的一般制程情况 碱性蚀刻液 碱性铜回收及蚀刻液再生系统 A.蚀刻: A. 蚀刻: [Cu(NH ) ]++ + Cu = 2 [Cu (NH ) ]+ [Cu(NH ) ]++ + Cu = 2 [Cu (NH ) ]+ 3 4 3 2 3 4 3 2 2Cu + 4NH3 + 2NH4Cl + 1/2O2 = 2Cu (NH ) Cl + 2OH- B. 再生: 3 2 B. 再生: 2 [Cu (NH ) ]+ + 2NH + 2 (NH )+ + 1/2 O = 2[Cu(NH ) ]++ + 3 2 3 4 2 3 4 2Cu (NH ) Cl + 2 (NH )Cl + 2 (NH )OH + 1/2 O = 2 3H O 3 2 4 4 2 2 Cu(NH ) Cl +3H O

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